[发明专利]一种清洗装置

权利要求书

1.一种清洗装置，其特征在于，包括：

清洗槽；

清洗管，所述清洗管上设有多个喷水孔；

支撑座，所述支撑座设在所述清洗槽的外部，所述支撑座内限定有容纳腔，所述清洗管在所述容纳腔的内部和外部之间可移动，所述清洗管位于所述容纳腔的外部时，所述清洗管可在第一位置与第二位置之间枢转活动，所述第一位置位于所述清洗槽的外部，所述第二位置位于所述清洗槽的内部；所述容纳腔位于清洗槽的外部；当清洗管在第一位置时，清洗管能够处于水平状态，当清洗管在第二位置时，清洗管能够旋转至竖直状态，以便对清洗槽内壁的不同位置进行清洗。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括：

第一驱动结构，所述第一驱动结构设在所述容纳腔内以驱动所述清洗管在所述容纳腔的内部和外部之间移动，所述清洗管的一端与所述第一驱动结构枢转相连。

3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，还包括：

第二驱动结构，所述第二驱动结构设在所述第一驱动结构上，所述第二驱动结构与所述清洗管的一端相连以驱动所述清洗管枢转。

4.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗管的侧壁上和所述清洗管的远离所述支撑座的一端端面上分别设有多个所述喷水孔。

5.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗管可伸缩。

6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗管包括：

多个套管，每个所述套管的侧壁上分别设有多个所述喷水孔，多个所述套管套接，在最外层所述套管的内部，每个所述套管相对于与其相邻的外层套管可移动，处于最内层的所述套管的远离所述支撑座的一端端面设有多个所述喷水孔。

7.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括：

供水管，所述供水管的一端与所述清洗管的邻近所述支撑座的一端连通；

排水管，所述清洗槽的底部设有排水孔，所述排水管的一端与所述排水孔联通。

8.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括：

用于承载晶圆的支架，所述支架设在所述清洗槽中。

9.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，所述支架包括两个相互平行的支撑杆，所述支撑杆与所述清洗槽的底部和内侧壁间隔开设置。

10.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括：

超声槽，所述清洗槽设置于所述超声槽中。