[发明专利]一种基于溶剂配比差异调控钙钛矿薄膜形貌的光电探测器的制备方法在审
申请号: | 201911304656.1 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN111063808A | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 徐淑宏;梁有健;王春雷;崔一平 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/42;H01L51/44 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 210096 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 溶剂 配比 差异 调控 钙钛矿 薄膜 形貌 光电 探测器 制备 方法 | ||
1.一种基于溶剂配比差异调控钙钛矿薄膜形貌的光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)ITO叉指电极基底制备;确保ITO玻璃表面洁净,将光刻胶与稀释剂1:1稀释,通过匀胶机进行涂胶,采用紫外光将设计好的图形投影到胶上,在透光的区域引起光化学反应;将曝光后的基片放置在显影液中,曝过光的部分会被溶解掉,没有曝光的胶留在ITO玻璃上,冲洗一下ITO玻璃,并在烘箱中竖膜,利用HCl:H2O=1:1,并在其中加入氯化铁,对ITO进行刻蚀,将光刻图形转移到ITO玻璃上,采用4%的氢氧化钠溶液对刻蚀过的ITO玻璃进行去胶处理,最后检测电极是否短路或短路;
(2)甲胺铅碘前驱液制备:配制1mol/L-1.5 mol/L钙钛矿前驱液,称取碘化铅粉末和甲胺碘粉末加入到溶剂中,在60℃-80℃的条件下搅拌10小时以上,使其充分溶解,溶解步骤在充满氮气的手套箱中操作;
(3)PDMS的配置:取 PDMS A胶放入烧杯中,加入B胶后,用玻璃棒剧烈搅拌后,转移至手套箱中静置备用;
(4)光导型光电探测器制备:将刻蚀好电极的ITO玻璃,经过清洗后,用紫外灯臭氧清洗机处理洁净ITO基片,将基片转移至充满氮气的手套箱中,将钙钛矿前驱液浸润ITO基片表面,旋涂后,转移至烘胶台上退火;
(5)光电探测器封装处理:将退火后的基片恢复至室温,取适量PDMS覆盖基片表面,旋涂后,将基片转移至烘胶台上待PDMS固化后测试性能。
2.根据权利要求1所述的基于溶剂配比差异调控钙钛矿薄膜形貌的光电探测器的制备方法,其特征在于:步骤(2)中,甲胺铅碘前驱液是采用混合的溶剂来溶解甲胺碘和碘化铅粉末的;所述的混合溶剂为纯的DMSO作为溶剂、DMSO和DMF混合溶剂或者纯的DMF溶剂。
3.根据权利要求1所述的基于溶剂配比差异调控钙钛矿薄膜形貌的光电探测器的制备方法,其特征在于:刻蚀好电极的ITO玻璃的清洗步骤为:经过丙酮、异丙醇、乙醇、去离子水依次超声清洗15到20分钟。
4.根据权利要求1所述的基于溶剂配比差异调控钙钛矿薄膜形貌的光电探测器的制备方法,其特征在于:步骤(5)中基片在烘胶台上60℃加热一小时。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择