[发明专利]一种用于提高激光器密封及稳定性的装置在审
申请号: | 201911306220.6 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN110890687A | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 肖湖福;丁建永;于广礼;李彬彬;尤敦喜 | 申请(专利权)人: | 南京先进激光技术研究院 |
主分类号: | H01S3/02 | 分类号: | H01S3/02 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 王安琪 |
地址: | 210038 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 提高 激光器 密封 稳定性 装置 | ||
1.一种用于提高激光器密封及稳定性的装置,其特征在于,包括:固体激光器密封腔、密封腔内压力传感器、外部环境压力传感器、压力释放区和电磁阀;固体激光器密封腔内内置压力传感器,压力释放区单独放置在外部环境中或与固体激光器密封腔通过电磁阀连接,形成闭环控制,外部环境压力传感器通过螺纹连接在固体激光器密封腔盖板上。
2.如权利要求1所述的用于提高激光器密封及稳定性的装置,其特征在于,固体激光器密封腔采取盖板+0型圈的方式进行密封,承载光学器件,实现激光能量的输出。
3.如权利要求1所述的用于提高激光器密封及稳定性的装置,其特征在于,密封腔内压力传感器通过上位机实时监测密封腔内的压力值,外部环境压力传感器通过上位机实时监测外部环境的压力值。
4.如权利要求1所述的用于提高激光器密封及稳定性的装置,其特征在于,压力释放区采用能够耐受两个大气压的软橡胶类材料,储存由于压差导致的内部空气。
5.如权利要求1所述的用于提高激光器密封及稳定性的装置,其特征在于,通过压力传感器检测到有内外压差时,开启电磁阀,固体激光器密封腔与压力释放区进行空气交换,当内外压差为零时,关闭电磁阀。
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