[发明专利]用于生物植入的柔性可拉伸神经探针以及其制备方法

权利要求书

1.一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，包括：第一柔性聚合物层、金属导线层和第二柔性聚合物层；其中，

所述金属导线层包裹于所述第一柔性聚合物层和所述第二柔性聚合物层之间，并在所述第一柔性聚合物层或所述第二柔性聚合物层的表面上露出所述金属导线层的电极点；

所述第一柔性聚合物层、所述第二柔性聚合物层设有规则排布狭缝。

2.根据权利要求1所述的一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，还包括连接口和植入孔，其中，所述连接口位于所述探针的一端，用于电学连接外接线路；所述植入孔位于所述探针的另一端，用于穿入钢针，使所述探针植入到所需要的位置。

3.根据权利要求2所述的一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，

所述连接口位于所述金属导线层，并露出于所述第一柔性聚合物层或所述第二柔性聚合物层的表面上；

所述植入孔设置于所述第一柔性聚合物层和所述第二柔性聚合物层，即在所述第一柔性聚合物层和所述第二柔性聚合物层形成通孔。

4.根据权利要求1所述的一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，

所述第一柔性聚合物层和所述第二柔性聚合物层分别设有马蹄形沟槽，所述马蹄形沟槽位于所述电极点的周围，形成浮动电极。

5.根据权利要求1所述的一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，所述金属导线层的导线为弯曲走线。

6.根据权利要求1所述的一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，所述第一柔性聚合物层、所述第二柔性聚合物层的材料为非光敏型聚酰亚胺、光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯中的任一种；所述第一柔性聚合物层、所述第二柔性聚合物层的厚度为2～25微米。

7.根据权利要求1所述的一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，所述金属导线层包括粘附层和传导层，所述粘附层设置于所述第一柔性聚合物层的上表面，所述传导层设置于所述粘附层的上表面。

8.根据权利要求7所述的一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，所述粘附层的材料为钛、铬或钛钨合金中任一种；所述粘附层的厚度为10～100纳米；

所述传导层的材料为金、铂或钛中一种或两种以上的金属合金；所述传导层的厚度为200～500纳米。

9.根据权利要求1所述的一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针，其特征在于，所述狭缝为长条形细缝、椭圆形槽或方形槽中的任一种或两种以上的复合型结构。

10.一种用于生物植入的柔性可拉伸神经探针的制备方法，其特征在于，包括：

在衬底上制备第一柔性聚合物层；

在所述第一柔性聚合物层上依次溅射或蒸发一层金属粘附层、一层金属传导层，在所述金属传导层上旋涂正性光刻胶作为掩膜，经过前烘、曝光、显影和后烘，采用离子束刻蚀或湿法刻蚀，得到图形化的金属导线层，即形成金属电极点和弯曲走线的导线；

在图形化的所述金属导线层上方制备第二柔性聚合物层；

在所述第一柔性聚合物层、所述第二柔性聚合物层上制备图形化规则排布的狭缝；

在所述第二柔性聚合物层上设有用于露出其下方电极点的电极孔。