[发明专利]一种碱金属气室内多层OTS涂层制作方法

权利要求书

1.一种碱金属气室内多层OTS涂层制作方法，其特征在于，将碱金属气室的上尾管中部烧制出一个凹陷储水段，所述凹陷储水段用于在所述碱金属气室的内壁上镀制OTS涂层的OTS溶液排空后，从所述上尾管的外端口滴入去离子水到所述凹陷储水段中存留一定时间，使得气室内壁能够稳定附着一定数量的水分子以使所述气室内壁形成交联的多层OTS涂层。

2.根据权利要求1所述的碱金属气室内多层OTS涂层制作方法，其特征在于，所述碱金属气室的下尾管为直管，所述上尾管位于所述凹陷储水段的上方侧壁径向延伸出一个横向段，所述横向段的端口用于连接抽吸装置或氮气输入装置。

3.根据权利要求1所述的碱金属气室内多层OTS涂层制作方法，其特征在于，所述OTS溶液的溶剂为氯仿和正己烷，所述氯仿与所述正己烷的体积比为1:4，所述OTS溶液的溶质为OTS，所述OTS的浓度为2mM。

4.根据权利要求1所述的碱金属气室内多层OTS涂层制作方法，其特征在于，所述碱金属气室在镀制OTS涂层前经过羟基化处理。

5.根据权利要求4所述的碱金属气室内多层OTS涂层制作方法，其特征在于，经过所述羟基化处理后，所述OTS溶液中的OTS与气室内壁上的羟基通过脱水缩合反应形成以硅氧键结合于所述气室内壁的OTS涂层。

6.根据权利要求4所述的碱金属气室内多层OTS涂层制作方法，其特征在于，所述羟基化处理采用食人鱼溶液，所述碱金属气室的上尾管连接抽吸装置，所述碱金属气室的下尾管置于所述食人鱼溶液中，通过所述抽吸装置使所述碱金属气室内吸满所述食人鱼溶液并保留不小于1小时，然后所述上尾管连接氮气输入装置，利用氮气排出所述食人鱼溶液，所述碱金属气室内的食人鱼溶液被排空后，将所述下尾管置于去离子水中，采用循环泵入去离子水和氮气的方式对所述碱金属气室的内壁用去离子水进行清洗，所述氮气用于排空去离子水，将清洗后的所述碱金属气室置于真空烤箱内烘干，从所述真空烤箱内取出烘干后的所述碱金属气室时先用氮气充入所述真空烤箱内破真空，取出所述碱金属气室后，向所述凹陷储水段注入一定量的去离子水并保留一定时间后将所述凹陷储水段中的去离子水移除。

7.根据权利要求6所述的碱金属气室内多层OTS涂层制作方法，其特征在于，移除所述凹陷储水段中的去离子水后，将所述碱金属气室的下尾管置于所述OTS溶液中，使所述碱金属气室内吸满所述OTS溶液并保留一定时间，然后通过所述上尾管通入氮气的方式将所述碱金属气室内的OTS溶液从所述下尾管排空，再次向所述凹陷储水段注入一定量的去离子水并保留一定时间，从所述去离子水中挥发的水分子用于促进气室内壁形成交联的多层OTS涂层，然后再次移除所述凹陷储水段中的去离子水。

8.根据权利要求7所述的碱金属气室内多层OTS涂层制作方法，其特征在于，再次移除所述凹陷储水段中的去离子水后，将所述下尾管置于作为清洗液的氯仿中，采用循环泵入氯仿和氮气的方式对所述碱金属气室的内壁用氯仿清洗3～5遍，所述氮气用于排空氯仿。