[发明专利]一种碱金属气室内湿度的控制系统及方法

权利要求书

1.一种碱金属气室内湿度的控制系统，其特征在于，包括惰性气体管路,通过所述惰性气体管路依次连接惰性气体气源装置、气量控制装置、润湿装置和湿度测试装置，所述湿度测试装置向碱金属气室内输入设定湿度惰性气体，所述惰性气体气源装置内为干燥惰性气体，所述气量控制装置控制所述干燥惰性气体进入所述润湿装置的进气量和/或进气速率，所述润湿装置将所述干燥惰性气体润湿后经湿度测试装置测试出湿润惰性气体的湿度，并通过调节所述进气量和/或进气速率获得所述设定湿度惰性气体。

2.根据权利要求1所述的碱金属气室内湿度控制系统，其特征在于，还包括设于所述润湿装置与所述湿度测试装置之间的干燥装置，所述干燥装置对湿度超过所述设定湿度惰性气体的所述湿润惰性气体进行干燥吸湿调节获得所述设定湿度惰性气体。

3.根据权利要求1所述的碱金属气室内湿度控制系统，其特征在于，还包括湿度控制模块，所述湿度控制模块包括湿度数据接收分模块和气量控制分模块，所述湿度数据接收分模块用于接收所述湿度测试装置的湿度数据，所述气量控制分模块根据所述湿度数据控制所述气量控制装置进而控制所述干燥惰性气体进入所述润湿装置的进气量和/或进气速率。

4.根据权利要求3所述的碱金属气室内湿度控制系统，其特征在于，所述湿度控制模块还包括干燥控制分模块，所述干燥控制分模块通过控制所述干燥装置的干燥效率对湿度超过所述设定湿度惰性气体的湿润惰性气体进行精准干燥。

5.根据权利要求3所述的碱金属气室内湿度控制系统，其特征在于，所述湿度控制模块还包括时间控制分模块，所述时间控制分模块从所述设定湿度惰性气体进入所述碱金属气室的上尾管开始计时，所述碱金属气室主体内部至少全部被所述设定湿度惰性气体湿润后计时结束并控制所述气源装置不再输出干燥惰性气体。

6.根据权利要求1所述的碱金属气室内湿度控制系统，其特征在于，所述干燥惰性气体为氮气或氩气；和/或所述气量控制装置为蠕动泵或流量计。

7.根据权利要求1所述的碱金属气室内湿度的控制系统，其特征在于，所述润湿装置为装有蒸馏水的洗气瓶。

8.根据权利要求2所述的碱金属气室内湿度的控制系统，其特征在于，所述干燥装置的干燥剂为变色硅胶或分子筛。

9.根据权利要求1所述的碱金属气室内湿度的控制系统，其特征在于，所述湿度测试装置包括湿度传感器。

10.一种碱金属气室内湿度的控制方法，其特征在于，使用权利要求1-9之一所述的碱金属气室内湿度的控制系统精确的控制并调整碱金属气室内抗弛豫涂层的镀制环境湿度。