[发明专利]一种纳米金刚石金属化薄膜的制备方法、产品及应用

权利要求书

1.一种纳米金刚石金属化薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤，

步骤(1)：采用化学刻蚀的方法，由金刚石薄膜制备多孔金刚石薄膜；

步骤(2)：将金属氧化物的凝胶溶液均匀旋涂在步骤1制备的多孔金刚石薄膜表面，形成致密薄膜，干燥，制得多孔纳米金刚石/氧化物复合薄膜；

步骤(3)：将步骤(2)制得的多孔纳米金刚石/氧化物复合薄膜采用微波等离子方法对薄膜进行等离子刻蚀处理即得所述纳米金刚石金属化薄膜；

步骤(1)所述的化学刻蚀的方法具体为将金刚石薄膜置于浓硫酸溶液中浸泡后取出干燥得多孔金刚石薄膜，所述浓硫酸溶液的体积分数为75％，浸泡时间为20-60min，干燥条件为100-200℃真空干燥；

步骤(2)所述的金属氧化物凝胶的制备方法为凝胶法制备；

所述金属氧化物为氧化镍、氧化钛、氧化钨中的一种；

所述微波等离子体方法具体为微波功率1000-1500W，所用气体为H₂、浓度为20-200sccm、刻蚀30-60min。

2.根据权利要求1所述的纳米金刚石金属化薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述的旋涂厚度为1-15um。

3.根据权利要求1所述的纳米金刚石金属化薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述的干燥条件100-200℃真空干燥。

4.一种根据权利要求1-3任一项所述的纳米金刚石金属化薄膜的制备方法所制备的纳米金刚石金属化薄膜。

5.一种根据权利要求4所述的纳米金刚石金属化薄膜在纳米金刚石电学器件的制作和生物电极探测方面的应用。