[发明专利]一种双面胶带及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种用于半导体元件蒸镀制程粘接材料的双面胶带，其特征在于，所述双面胶带自上而下依次包括：第一抗静电离型膜层、第一胶层、基材层、第二胶层和第二抗静电离型膜层；

所述第一胶层的制备原料由丙烯酸预聚体、功能性单体、引发剂和第一抗静电剂组成；

所述丙烯酸预聚体、功能性单体、引发剂和第一抗静电剂的质量比为100:(0.1-3):(0.2-1):(0.5-3)；

所述丙烯酸预聚体的制备原料由丙烯酸、丙烯酸异冰片酯、丙烯酸异辛酯、丙烯酸-2-羟乙酯和a,a-二甲氧基-a-苯基苯乙酮组成，所述丙烯酸、丙烯酸异冰片酯、丙烯酸异辛酯、丙烯酸-2-羟乙酯和a,a-二甲氧基-a-苯基苯乙酮的质量比为(0.5-4):(20-40):(30-50):(20-40):(0.02-0.1)；

所述第一胶层的厚度为200-800μm；

所述第二胶层的制备原料包括丙烯酸母胶、固化剂和第二抗静电剂；所述丙烯酸母胶、固化剂和第二抗静电剂的质量比为100:(1-4):(0.5-3)；

所述第二胶层的厚度为10-50μm。

2.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述功能性单体包括1,6-己二醇二丙烯酸酯和/或二缩三丙二醇二丙烯酸酯。

3.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述引发剂包括2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、1-羟基环己基苯基甲酮、二苯甲酮、(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)丁酮、a,a-二甲氧基-a-苯基苯乙酮、2-羟基-1-(4-(2-羟基-2-甲基丙酰基苯基)苄基)-2-甲基-1-丙酮或大分子光引发剂硫杂蒽酮中的任意一种或至少两种的组合。

4.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述第一抗静电剂包括烷基磺酸盐抗静电剂、硫酸盐抗静电剂、磷酸盐抗静电剂、脂肪酸盐抗静电剂、羧酸盐抗静电剂、聚合型阴离子抗静电剂、胺盐抗静电剂、季铵盐抗静电剂、烷基氨基酸盐抗静电剂、氨基磺酸类抗静电剂、锂盐抗静电剂或含氟类静电剂中的任意一种或至少两种的组合。

5.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述第一胶层的阻抗为10⁹-10¹¹Ω。

6.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述丙烯酸母胶的制备原料以其总质量为100％计，包括如下组分：甲基丙烯酸甲酯3-5％、丙烯酸异辛酯20-28％、丙烯酸丁酯3-8％、甲基丙烯酸1-5％、丙烯酸-2-羟乙酯1-5％、丙烯酰胺0.5-3％、甲苯5-20％、乙酸乙酯40-60％和偶氮二异丁腈0.05-0.5％。

7.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述固化剂包括甲苯二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯或间苯二甲胺环氧树脂中的任意一种或至少两种的组合。

8.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述第二抗静电剂包括烷基磺酸盐抗静电剂、硫酸盐抗静电剂、磷酸盐抗静电剂、脂肪酸盐抗静电剂、羧酸盐抗静电剂、聚合型阴离子抗静电剂、胺盐抗静电剂、季铵盐抗静电剂、烷基氨基酸盐抗静电剂、氨基磺酸类抗静电剂、锂盐抗静电剂或含氟类静电剂中的任意一种或至少两种的组合。

9.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述第二胶层的阻抗为10⁹-10¹¹Ω。

10.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述第一抗静电离型膜层为双面抗静电离型膜层。

11.根据权利要求1所述的双面胶带，其特征在于，所述第一抗静电离型膜层的离型力为10-15g/25mm。