[发明专利]高温石英挠性加速度计伺服电路

权利要求书

1.一种高温石英挠性加速度计伺服电路，其特征在于：包括形成闭环实现的伺服放大器以及表头组件；

表头组件包括力矩器组件以及差动电容组件；

力矩器组件包括力矩传感器L1；

伺服放大器包括前置变换电路U1、用于给前置变换电路U1供电的双路稳压电路、反馈阻容网络、以及跨导补偿放大器U4；

前置变换电路U1包括运算放大器、电流积分器、用于检测电容差的差动电容检测器、以及三角波发生器；三角波发生器包括输出电路、恒流源以及偏置电路；

三角波发生器通过电容检测器输出三角波信号，通过电流积分器进行积分，积分信号通过运算放大器放大后输出给跨导补偿放大器U4，跨导补偿放大器U4分三路，第一路通过反馈阻容网络调节，使得跨导补偿放大器U4、力矩传感器L1、跨导补偿放大器U4错开电流信号最低点，反馈阻容网络调节将反馈信息传递给运算放大器；第二路输出给力矩传感器L1，力矩传感器L1将产生的反馈信号通过差动电容组件反馈输入给三角波发生器，实现对力矩传感器L1的闭环控制。

2.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路，其特征在于: 跨导补偿放大器U4的第三路输出依次经过电阻采样电路、低通滤波电路、电位平移电路、A/D采样电路通过I²C总线输出，I²C总线输入端连接有用于检测温度数据的温度采样。

3.根据权利要求2所述的高温石英挠性加速度计伺服电路，其特征在于: 对于伺服放大器的工艺版图上的晶体管对称设置；

运算放大器电连接有进行电路补偿的三极管；

双路稳压电路包括正稳压电路单元与负稳压电路单元；

正稳压电路单元连接有包括滤波电容C12、C13的电路、外界正电源通过二极管D1接入正稳压电路单元的输入端；

负稳压电路单元连接有包括滤波电容C14、C15的电路、外界负电源通过二极管D2反接入正稳压电路单元的输入端；

差动电容检测器通过限流电阻R1后接入检测端TE自检电压信号；

反馈阻容网络包括电阻R3-R7、以及电容C8-C9；

电阻R6与电容C9组成输入谐振电路，电阻R4与电容C8组成输出谐振电路，

电阻R5连接在跨导补偿放大器U4与运算放大器之间，电阻R5输入端通过并联的输入谐振电路与电阻R7接地，电阻R5输出端通过并联的输出谐振电路与电阻R3接地。

4.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路，其特征在于: 前置变换电路U1、跨导补偿放大器U4的集成电路芯片采用焊接方式背银。

5.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路，其特征在于: 伺服放大器和/或表头组件作为负载，其输入端通过电流保护电路与开关电源输出端电连接；

电流保护电路包括串联在电源模块输出回路中的MOS管1Q2与取样电阻1R2、与MOS管1Q2一端脚电连接的电流输出端Vo、第一放大器1A1、第二比较器1A2、稳压二极管1IC1、分压电阻1R8、1R9，三极管1Q3、供电电路、

供电电路包括输入端Vcc、电阻1R1、电容1CI、三端稳压器1DZ

外接电输入端Vcc通过电阻1R1与电容1CI的谐振给三端稳压器1DZ供电，三端稳压器1DZ给第二比较器1A2供电，三端稳压器1DZ通过反压电阻1R8给MOS管1Q2栅极供电，MOS管1Q2栅极通过电阻1R11接地；

MOS管1Q2另一端脚电连接取样电阻1R2，MOS管1Q2另一端还通过电阻1R5电容1C3的谐振电路接第一放大器1A1的正向端，第一放大器1A1的反向端通过电阻1R6接地，在第一放大器1A1的反向端与输出端电连接有电阻1R12，

第一放大器1A1输出端通过电阻1R15与电容1C6的用于来设置保护延迟时间的谐振电路接第二比较器1A2的正向端，第二比较器1A2的反向端通过稳压二极管1IC1接地；

第二比较器1A2输出端通过二极管1D1输出端两路，一路通过电阻1R10接三极管1Q3的基极，一路通过电容1C5接三极管1Q3的发射极，三极管1Q3的集电极接MOS管1Q2的栅极。