[发明专利]傅立叶变换红外分光装置

权利要求书

1.一种傅立叶变换红外分光装置，其特征在于，具备：

主干涉仪，其包括多波长红外光源、分束器、固定镜以及移动镜；

控制干涉仪，其包括半导体激光器、所述分束器、所述固定镜以及所述移动镜；

第一检测器，其检测由所述主干涉仪生成且穿过了试样或被试样反射的红外干涉光；

第二检测器，其检测由所述控制干涉仪生成的单色干涉光；

光谱制作部，其基于由所述第二检测器检测出的单色干涉光的强度和校正前的振荡波长，来求出穿过所述固定镜的光路与穿过所述移动镜的光路的光路差，通过针对干涉图进行高速傅立叶变换来制作光谱，该干涉图是用基于该光路差的分布表示由所述第一检测器检测出的红外干涉光的强度的干涉图；

振荡波长校正部，其从由所述光谱制作部制作出的光谱中的峰中确定二氧化碳的吸收峰，将该吸收峰的波数或波长与二氧化碳的原本的吸收波数或波长进行比较，由此求出所述半导体激光器的校正后的振荡波长；以及

振荡波长精密校正部，该振荡波长精密校正部基于由所述振荡波长校正部得到的校正后的振荡波长、由所述第二检测器检测出的单色干涉光的强度以及由所述第一检测器检测出的红外干涉光的强度来制作光谱，从该光谱中的峰中确定一个或多个水蒸气的吸收峰，将该吸收峰处的波数或波长与水蒸气的原本的吸收波数或波长进行比较，由此进行振荡波长的精密校正。

2.根据权利要求1所述的傅立叶变换红外分光装置，其特征在于，

在所述精密校正中，以使针对多个水蒸气的吸收峰分别得到的波数或波长与原本的吸收波数或波长的差最小的方式进行校正。

3.根据权利要求2所述的傅立叶变换红外分光装置，其特征在于，

所述多个水蒸气的吸收峰是波数为1447.952cm^-1、1464.905cm^-1、1576.185cm^-1、1616.711cm^-1、1662.809cm^-1以及1756.819cm^-1这六个吸收峰中的两个～六个吸收峰。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的傅立叶变换红外分光装置，其特征在于，

还具备光谱适当判定部，该光谱适当判定部基于规定的基准，来判定由所述光谱制作部制作出的光谱是否为适当地测定空气的光谱所得到的光谱。