[发明专利]用于拉晶炉的导流筒及拉晶炉在审

申请号：	201911312839.8	申请日：	2019-12-18
公开（公告）号：	CN110904498A	公开（公告）日：	2020-03-24
发明（设计）人：	蒲以松;惠聪	申请（专利权）人：	西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号：	C30B15/00	分类号：	C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06
代理公司：	西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230	代理人：	刘长春
地址：	710065 陕西省西安市***	国省代码：	陕西;61
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摘要：
搜索关键词：	用于拉晶炉导流
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【权利要求书】：

1.一种用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述导流筒(1)包括外导流筒(11)、内导流筒(12)和冷却单元(13)，其中，

所述内导流筒(12)位于所述外导流筒(11)内侧，所述内导流筒(12)与所述外导流筒(11)之间设置有隔热层(14)；

所述冷却单元(13)包括嵌入在所述内导流筒(12)内部的冷却管(131)，所述冷却管(131)连接至冷却介质供给装置。

2.根据权利要求1所述的用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述外导流筒(11)的上端与所述内导流筒(12)的上端沿周向方向密封连接，所述外导流筒(11)的下端与所述内导流筒(12)的下端沿周向方向密封连接，并且所述隔热层(14)位于所述外导流筒(11)与所述内导流筒(12)之间形成的封闭腔体内。

3.根据权利要求1所述的用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述内导流筒(12)包括上筒体部(121)和下筒体部(122)，其中，

所述上筒体部(121)呈倒锥形，所述下筒体部(122)呈正锥形，所述上筒体部(121)与所述下筒体部(122)的交界处呈径缩状。

4.根据权利要求1所述的用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述外导流筒(11)呈圆筒状。

5.根据权利要求3所述的用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述冷却管(131)螺旋盘绕在所述上筒体部(121)的内部。

6.根据权利要求5所述的用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述冷却管(131)的两端分别包括冷却管入口(132)和冷却管出口(133)。

7.根据权利要求1所述的用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述冷却单元(13)还包括冷却介质入口管(134)和冷却介质出口管(135)，其中，

所述冷却介质入口管(134)的一端连接至所述冷却介质供给装置，另一端连接至所述冷却管(131)的入口；

所述冷却介质出口管(135)的一端连接至所述冷却管(131)的出口，另一端连接至冷却介质回收罐。

8.根据权利要求7所述的用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述冷却单元(13)还包括温度检测器(136)、电磁阀(137)和控制模块(138)，其中，

所述温度检测器(136)设置在所述冷却管(131)的入口处，所述电磁阀(137)设置在所述冷却介质入口管(134)上；

所述控制模块(138)电连接所述温度检测器(136)和所述电磁阀(137)，用于根据所述温度检测器(136)检测的温度数据控制所述电磁阀(137)的开闭状态。

9.根据权利要求1所述的用于拉晶炉的导流筒(1)，其特征在于，所述冷却介质供给装置向所述冷却管(131)供给的冷却介质包括水、干冰或液氮中的至少一种。