[发明专利]一种高精度自适应的真空度控制系统

权利要求书

1.一种高精度自适应的真空度控制系统，其特征在于，包括：真空室、进气管道、喷管和排气组件；

喷管配置于真空室内，经由进气管道与真空室外的气源相连；

喷管与排气组件彼此相间隔地同轴配置；

排气组件包括彼此相连并同轴配置的可调节收集段，等直段和扩散段；其中，排气组件穿过所述真空室壁进行设置；可调节收集段位于真空室内；扩散段位于真空室外；可调节收集段设计为方形，上下各有1个调节片，通过铰链与等直段入口处相连，根据试验需求调节调节片位置，控制可调节收集段进气口面积；可调节收集段通过调节进气口面积，调节主气流离开喷管后的膨胀程度，达到控制真空度的作用；当可调节收集段进气口面积小时，主气流离开喷管后膨胀程度小，主气流静压高，真空室内自适应达到的静压高；当可调节收集段进气口面积大时，主气流离开喷管后膨胀程度大，主气流静压低，真空室内自适应达到的静压低；等直段是一个等直管道，用于保证超声速主气流保持其超声速状态，使下游的压力波动不影响到上游气流；扩散段是一个扩散的管道，用于将主气流的速度降低，使其动压恢复成静压，其后根据需求直接将主气流排出，或者连接引射排气或大流量真空泵组将主气流排出；

喷管的内腔包括喷管前室，喷管收缩段，喷管扩张段和混合段；其中，喷管前室用于稳定气流，喷管收缩段通过收缩将气流加速至声速，喷管扩张段将声速气流加速至设计马赫数；混合段是主气流与真空室内部空气接触、混合的部段，用于在真空室压力低时，通过主气流的溢出为真空室补充流体介质；在真空室压力高时，通过主气流的抽吸能力，将多余流体介质带离真空室，最终达到真空度的自适应调节。

2.根据权利要求1所述的高精度自适应的真空度控制系统，其特征在于，所述可调节收集段能够制成进气口面积不同的多种规格成品件，根据试验需求，进行更换。

3.根据权利要求1所述的高精度自适应的真空度控制系统，其特征在于，根据不同的真空度和调节能力范围，自由更换喷管马赫数。

4.根据权利要求1所述的高精度自适应的真空度控制系统，其特征在于，所述真空室具有根据试验所需的空间进行设计的保证密封的空间。