[发明专利]多层式托手以及具备其的搬运机器人

说明书

本发明提供多层式托手以及具备其的搬运机器人，即使增加能支承的工件的数量也不会招致占有空间的扩大，能变更托手间间距。具有：多个托手(20)，其分别具有托手体(210)和在其基部支承该托手体(210)的支承体(220)，配置成在上下方向上重叠；引导单元(70)，其将多个托手(20)维持它们的姿态，并引导成能在上下方向上移动；和托手间间距约束单元(50)，其约束多个托手(20)的最大间距间隔，多个托手(20)由位于一个空一个的第1群的托手(20a、20c、20e、20g、20i、20k)和这以外的第2群的托手(20b、20d、20f、20h、20j)构成，托手间间距约束单元(50)约束上下重叠的第1群的托手(20a、20c、20e、20g、20i、20k)与这以外的第2群的托手(20b、20d、20f、20h、20j)间的最大间距间隔。

技术领域

本发明涉及能搬运多片板状工件的多层式托手(Hand)以及具备其的搬运机器人。

背景技术

例如在专利文献1记载了能一次性搬运多片半导体晶片等板状工件的多层式托手。这些文献记载的多层式托手为了能一并搬运间距不同的盒间的工件而构成为能变更托手间间距。

专利文献1记载的托手间间距的变更机构将支承各托手的多个支承台在上下方向上重叠，在分别保持水平的姿态的同时引导成能在上下方向上滑动，并且在这些支承台的合适部位设置在水平方向上延伸的长孔，另一方面，将以下部为支点来回转动的长条状转动构件每隔给定间隔而设的多个销卡合在各支承台的上述的各长孔。根据这样的结构，通过使长条状转动构件在例如倾斜姿态与垂直姿态间来回转动而能变更多个支承台的上下间距间隔。

但在专利文献1记载的结构中，为了能增加支承台的数量并变更它们的间距间隔，需要延长长条状转动构件的长度，但这样一来，就还需要扩展支承台中的设置长孔的方向的尺寸。这样的话，会过多招致机构的平面上的占有空间的扩大和重量增加，并不现实。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2013-135099号公报

发明内容

本发明根据上述的情况而提出，课题在于，提供即使增加能支承的工件的数量也不会招致占有空间的扩大、能变更托手间间距的多层式托手以及具备其的搬运机器人。

为了解决上述的课题，在本发明中采用如下的技术手段。

即，通过本发明的第1侧面提供的多层式托手特征在于，具有：多个托手，其分别具有托手体和在其基部支承该托手体的支承体，在上下方向上重叠配置；引导单元，其将上述多个托手维持它们的姿态，并引导成能在上下方向上移动；和托手间间距约束单元，其约束上述多个托手的最大间距间隔，上述多个托手，由位于一个空一个的位置的第1群的托手和这以外的第2群的托手构成，上述托手间间距约束单元约束上下相邻的第1群的托手与第2群的托手间的最大间距间隔。

在优选的实施方式中，位于上方位置的第1群的托手和位于其正下方位置的第2群的托手间通过设于该第1群的托手的向上抵接部和设于该第2群的托手的向下抵接部相互抵接来约束两者间的最大间距间隔，位于上方位置的第2群的托手与位于其正下方位置的第1群的托手间通过设于该第2群的托手的向上抵接部和设于该第1群的托手的向下抵接部相互抵接来约束两者间的最大间距间隔。

在优选的实施方式中，上述第1群的托手的向上抵接部与上述第2群的托手的向下抵接部的组在第1平面位置位于在上下方向上重叠的位置，上述第2群的托手的向上抵接部与上述第1群的托手的向下抵接部的组在与上述第1平面位置不同的第2平面位置位于在上下方向上重叠的位置。