[发明专利]微流控面板及其驱动方法有效
申请号: | 201911315218.5 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN110918145B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 林柏全;席克瑞;孔祥建;欧阳珺婷;李小和;秦锋;刘金娥;王丽影 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微流控 面板 及其 驱动 方法 | ||
1.一种微流控面板,其特征在于,包括含有多个分叉结构的微通道,所述微通道内包括液滴;
所述微流控面板包括相对设置的第一基板和第二基板,所述第一基板和第二基板之间夹设所述微通道;
所述分叉结构包括入口端和出口端,所述入口端和所述出口端均包括压电单元,所述压电单元包括位于所述第一基板靠近所述微通道一侧的第一电极、位于所述第二基板靠近所述微通道一侧的第二电极、以及压电材料层,在垂直于所述第一基板所在平面的方向上,所述压电材料层位于所述第一电极和所述第二电极之间,所述压电材料层位于所述第一电极靠近所述微通道的一侧,向所述第一电极提供第一电压,向所述第二电极提供第二电压,所述第一电压和所述第二电压之间的电压差驱动所述压电材料层向指向所述微通道的方向突起或指向所述第一基板的方向恢复。
2.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述分叉结构的出口端至少包括第一出口端和第二出口端。
3.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述第一基板还包括多条第一信号线和至少一条第二信号线,一条所述第一信号线与一个所述第一电极电连接,通过所述第一信号线向所述第一电极传输所述第一电压,所述第二信号线与所述第二电极电连接,通过所述第二信号线向所述第二电极传输所述第二电压。
4.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述第二电极为整面设置的,向所述第二电极提供的所述第二电压为固定电压信号。
5.根据权利要求3所述的微流控面板,其特征在于,多条所述第一信号线在所述第一基板所在平面上的正投影不交叠。
6.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,还包括疏水层,所述疏水层位于所述第二电极靠近所述微通道的一侧。
7.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述压电材料层包括聚偏氟乙烯-三氧乙烯。
8.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述微通道的宽度在5um至10um之间。
9.一种微流控面板的驱动方法,所述微流控面板为权利要求1至6任一所述的微流控面板,其特征在于,包括第一阶段和第二阶段;
在所述第一阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为正电压,向所述分叉结构出口端的第一电极提供的第一电压为正电压,向第二电极提供固定电压,所述分叉结构入口端和出口端处的压电材料层向指向所述微通道的方向突起;
在所述第二阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构出口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述第二电极提供固定电压,所述分叉结构入口端和出口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述微通道内的液滴由所述入口端移动到所述出口端。
10.根据权利要求9所述的微流控面板的驱动方法,其特征在于,还包括在所述第二阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构第一出口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构第二出口端的第一电极提供的第一电压为正电压,所述分叉结构入口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述分叉结构第一出口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述分叉结构第二出口端处的压电材料层向指向所述微通道的方向突起,所述微通道内的液滴由所述入口端移动到所述第一出口端。
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