[发明专利]一种基于激光跟踪仪非接触式测量大口径光学元件面形的方法

权利要求书

1.一种基于激光跟踪仪非接触式测量大口径光学元件面形的方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤(1)、采用气浮靶标作为激光跟踪仪测量合作靶标测量光学元件表面；通过对气浮靶标供气，使气浮面微孔输出稳定的高压气流，在气浮面与光学元件表面形成固定的气隙层，达到非接触扫描测量的目的；

步骤(2)、气浮靶标由气浮垫(1)、角锥镜(2)及连接座(3)组成，气浮垫(1)用于在光学元件表面形成固定气隙；角锥镜(2)用于激光跟踪仪跟踪测量；连接座(3)用于连接角锥镜及气浮垫，并提供合适大小的负载力；

步骤(3)、角锥镜中心应与气浮垫气浮面调至同心；

步骤(4)、气浮垫口径及形状应根据光学元件顶点曲率半径及气浮垫气隙大小决定，对于大曲率半径光学元件面形测量，选取小口径平面气浮垫；对于小曲率半径光学元件面形测量，选择球形气浮垫；

步骤(5)、通过标定角锥镜中心至气浮面的距离，结合光学元件面形方程，实现测量点的偏离补偿。