[发明专利]图像传感器的测试装置及其测试方法

说明书

本发明提供一种CMOS图像传感器的测试装置及其测试方法，所述CMOS图像传感器的测试装置包括：频谱分析仪，位移控制装置和上位机；所述上位机适于控制所述位移控制装置的位移；所述位移控制装置适于带动所述频谱分析仪的测试探头扫描所述待测CMOS图像传感器的上表面。本发明中提供了一种图像传感器的测试装置及其测试方法，可以自动实现全频段目标的频谱测试。

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域，尤其涉及一种图像传感器的测试装置及其测试方法。

背景技术

图像传感器是成像领域非常重要的一部分，主要完成将外界光信号转变为电信号的任务，然后经过一系列电信号的处理，进而转换成可以在显示器上或其他显示设备上显示的图像。在当今的手机摄像、普通相机摄像、水下探测、空间对地遥感等应用领域，应用最为广泛的图像传感器是电荷耦合器件（CCD，Charge Coupled Device）图像传感器和互补金属氧化物半导体（CMOS，Complementary Metal Oxide Semiconductor）图像传感器。

在历史上，CCD图像传感器和CMOS图像传感器几乎是同时在20世纪60年代出现的。1965年-1970年（20世纪70年代），IBM、Fairchild等企业开发光电以及双极二极管阵列。1970年，CCD图像传感器在Bell实验室发明，并依靠CCD图像传感器的高量子效率、高灵敏度、低暗电流、高一致性、低噪音，一直成为图像传感器市场的主导。

和CCD图像传感器相对比，CMOS图像传感器具有低功耗、低操作电压、片上集成功能、低价格等优势，但是在CMOS图像传感器出现初期由于相对较差的性能和较大的像元尺寸，并没有得到很好的市场，后来随着超大规模集成电路技术（VLSI）和CMOS工艺水平的不断提高，CMOS图像传感器的量子效率、填充因子等成像性能逐渐可以和CCD图像传感器相媲美，占据的市场份额逐渐扩大。如今智能手机摄像头大多采用CMOS图像传感器，在水下探测、空间对地遥感等成像领域，CMOS图像传感器也有可能取代CCD图像传感器，进而逐渐成为多数成像领域图像传感器的主要选择。

电磁干扰平时无处不在，CMOS图像传感器本身并不会辐射电磁波，需要对CMOS图像传感器频谱分布的测试结果来预测CMOS图像传感器对其他模块电磁干扰的影响，本案提出了一种图像传感器的测试装置及其测试方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种CMOS图像传感器的测试装置和测试方法，解决现有技术中CMOS图像传感器可能对其它模块存在电磁干扰影响的技术问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种CMOS图像传感器的测试装置和测试方法，包括：

一种CMOS图像传感器的测试装置，包括：频谱分析仪，位移控制装置和上位机；

所述上位机适于控制所述位移控制装置的位移；

所述位移控制装置适于带动所述频谱分析仪的测试探头扫描待测CMOS图像传感器的上表面。

优选地，所述上位机适于：

在测试开始时，发送指令以启动待测试的CMOS图像传感器和所述频谱分析仪，并控制所述位移控制装置带动所述频谱分析仪的测试探头移动至所述CMOS图像传感器的上面；

在测试中，控制所述位移控制装置的位移；

在测试结束时，控制所述CMOS图像传感器、所述频谱分析仪和位移控制装置停止工作。

优选地，所述频谱分析仪，适于在测试中，对测试探头扫描的区域进行全频段扫描，并将扫描结果进行计算处理，得到最终频谱测试结果。

优选地，所述位移控制装置为机器人、自动化桁架或机械手臂。

优选地，还包括信号传输装置，所述信号传输装置适于接收所述上位机的指令，并将指令解析后发送给所述CMOS图像传感器，使CMOS图像传感器进入正常工作状态。