[发明专利]一种化学机械抛光液在审
| 申请号： | 201911319077.4 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN113004796A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 任晓明;贾长征;李守田 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;王芳 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械抛光液，包含氧化铈、聚丙烯酸、聚乙烯胺、以及水。
2.如权利要求1所述化学机械抛光液，其特征在于，所述聚乙烯胺的含量为1-80ppm。
3.如权利要求1所述化学机械抛光液，其特征在于，所述聚乙烯胺的分子量为1300-750000。
4.如权利要求1所述化学机械抛光液，其特征在于，所述氧化铈的含量为0.1wt％-1.5wt％。
5.如权利要求1所述化学机械抛光液，其特征在于，聚丙烯酸的含量为500-1500ppm。
6.如权利要求1所述化学机械抛光液，进一步包含pH调节剂。
7.如权利要求6所述化学机械抛光液，其特征在于，所述pH调节剂为氨水、氢氧化钾或硝酸、醋酸、盐酸、硫酸。
8.如权利要求1所述化学机械抛光液，其特征在于，pH为4-8。
9.如权利要求5所述化学机械抛光液，其特征在于，聚丙烯酸的含量为900ppm。
10.如权利要求4所述化学机械抛光液，其特征在于，所述氧化铈的含量为0.4wt％。
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