[发明专利]一种面向电荷共享的电流源模型的建立方法

权利要求书

1.一种面向电荷共享的电流源模型的建立方法，具体步骤如下：

S1.根据注入离子的种类，确定注入离子的线性传输能量；

S2.通过仿真建模得出参考距离，参考距离为离子注入的最大影响距离；

S3.通过仿真建模得出收集电荷的深度；

S4.通过仿真建模得出器件收集电荷的双极性放大系数；

S5.设定需要评估的注入距离，注入距离为注入点到收集点的距离；

S6.根据步骤S1得到的注入离子的线性传输能量、S2中得到的参考距离、S3中得到的收集电荷的深度、S4中得到的器件收集电荷的双极性放大系数和S5中设定的注入距离，得到面向电荷共享的注入电流表示式，

所述的注入电流表示式具体为：

其中，Q_L＝10(LET)，LET为步骤S1得到的线性传输能量，ζ为器件收集电荷的双极性放大系数，d_dep为收集电荷的深度，D_n,p为载流子的扩散率，D_n表示电子的扩散率，D_p表示空穴的扩散率，t为时间变量，r_f为参考距离，r_e为注入距离。

2.根据权利要求1所述的一种面向电荷共享的电流源模型的建立方法，其特征在于，所述仿真建模具体通过3D TCAD仿真建模。