[发明专利]一种化学机械抛光液在审
| 申请号： | 201911320533.7 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN113004797A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李守田;任晓明;贾长征 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;王芳 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
1.一种化学机械抛光液，包含：氧化铈、聚季氨盐、含苯环的羧酸、聚乙烯胺、以及水。
2.如权利要求1所述化学机械抛光液，其中，所述聚季氨盐选自聚季氨盐-1、聚季氨盐-2、聚季氨盐-4、聚季氨盐-6、聚季氨盐-10、聚季氨盐-11、聚季氨盐-16、聚季氨盐-37、聚季氨盐-39、聚季氨盐-51中的一种或多种。
3.如权利要求2所述化学机械抛光液，所述聚季氨盐为聚季氨盐-6。
4.如权利要求1所述化学机械抛光液，所述含苯环的羧酸选自水杨羟肟酸、水杨酸、4-羟基苯甲酸中的一种或多种。
5.如权利要求4所述化学机械抛光液，其中，含苯环的羧酸为4-羟基苯甲酸。
6.如权利要求1所述化学机械抛光液，其中，氧化铈浓度为0.5wt％-2wt％。
7.如权利要求6所述化学机械抛光液，其中，氧化铈浓度为0.8-1.5wt％。
8.如权利要求1所述化学机械抛光液，其中，聚季氨盐浓度为1-100ppm。
9.如权利要求8所述化学机械抛光液，其中，聚季氨盐浓度为13.5ppm-15ppm。
10.如权利要求1所述化学机械抛光液，其中，含苯环的羧酸浓度为900-2500ppm。
11.如权利要求10所述化学机械抛光液，其中，含苯环的羧酸浓度为1000-2000ppm。
12.如权利要求1所述化学机械抛光液，其中，聚乙烯胺浓度为0.5-6ppm。
13.如权利要求12所述化学机械抛光液，其中，聚乙烯胺浓度为1-4ppm。
14.如权利要求1所述化学机械抛光液，其中，聚乙烯胺的分子量为400到750000。
15.如权利要求14所述化学机械抛光液，其中，聚乙烯胺的分子量为600-25000。
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