[发明专利]电镀治具有效
申请号: | 201911322094.3 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN112442723B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 林鼎钧;黄泰源;盖家驹 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/06 | 分类号: | C25D17/06;C25D7/12 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 蕭輔寬 |
地址: | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 | ||
一种电镀治具,包括具有四边形中空部的主体。其中,四边形中空部界定主体的内周面。主体于内周面向四边形中空部延伸凸缘。相应四边形中空部的每一边于凸缘上设置至少一导电体。
技术领域
本公开是关于一种电镀治具,尤其是关于一种用于电镀方形衬底的电镀治具。
背景技术
半导体封装过程中,多需要在衬底施作金属层,以进一步形成具有不同功能的电路层。而于衬底上施作金属层的方法有许多种,电镀为其中之一。
现有技术中,待电镀的衬底多为圆形,因此,电镀时所使用的治具多针对圆形衬底设计。然而,当待电镀的衬底为方形时,现有技术针对圆形衬底设计的电镀治具便无法适用。
发明内容
有鉴于此,本公开的目的在于提供一种用于电镀方形衬底的电镀治具。
本公开提供一种电镀治具,包括具有四边形中空部的主体。四边形中空部具有内周面,四边形中空部于内周面向内延伸凸缘。相应四边形中空部的每一边于凸缘上设置至少一导电体。
在部分实施方面中,相应四边形中空部的每一边于凸缘上设置两个导电体。
在部分实施方面中,每一导电体包括多个引脚。
在部分实施方面中,每一导电体包括栉形结构。
在部分实施方面中,主体上设有电力输入总成,电力输入总成与导电体电性连接。
在部分实施方面中,电力输入总成包括电力输入元件以及多个导电线。电力输入元件经由导电线电性连接导电体。
在部分实施方面中,主体上设有多个沟槽,导电线嵌设于沟槽。
在部分实施方面中,电镀治具更包括保护板,覆盖主体的沟槽。
在部分实施方面中,电镀治具更包括密封元件,环绕凸缘设置于凸缘以及导电体之间。
在部分实施方面中,密封元件具有环状凸块,用以在四边形中空部接收衬底时抵接衬底。
在部分实施方面中,电镀治具更包括盖板,具有相应于四边形中空部的四边形凸块。
在部分实施方面中,电镀治具更包括密封元件,环绕四边形凸块设置于主体以及盖板之间。
在部分实施方面中,盖板具有环绕四边形凸块的凹槽,密封元件嵌设于凹槽中。
在部分实施方面中,每一导电体包括至少一第一定位部件,用以将相对应的导电体定位于主体的至少一第二定位部件。
在部分实施方面中,电力输入元件经由导电线电性连接导电体的第一定位部件。
在部分实施方面中,主体更具有至少另一穿孔。
附图说明
结合附图阅读以下详细描述会最佳地理解本公开的方面。应注意,各种特征可能未按比例绘制。事实上,可出于论述清楚起见,而任意地增大或减小各种特征的尺寸。
图1为本公开的一些实施例的电镀治具的主体的立体图。
图2为本公开的一些实施例的主体的正视图。
图3为本公开的一些实施例的主体沿图2剖面线A-A'的剖面图。
图4为本公开的一些实施例的主体接收衬底的示意图。
图5为本公开的一些实施例的主体沿图2剖面线A-A'的剖面图。
图6为本公开的一些实施例的主体的正视图。
图7为本公开的一些实施例的主体的正视图。
图8为本公开的一些实施例的主体的正视图。
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