[发明专利]激光加工设备

说明书

改善校准精度的激光加工设备，其包括：激光输出部，其发出激光；第一扫描器和第二扫描器，其在工件的表面上扫描激光；距离测量光发出部，其发出距离测量光；基准构件，其在第一和第二扫描器处于特定旋转姿势的状态下配置于作为修正光路的另一端的位置，其中距离测量光发出部作为修正光路的一端，并且基准构件被配置成使得修正光路的光路长度是预定的基准距离；距离测量光接收部，其接收被工件或基准构件反射的距离测量光；距离测量部，其基于距离测量光接收部中的光接收位置通过三角测量法测量距工件或基准构件的距离；以及距离修正部，其将距基准构件的距离的测量结果与预先储存的基准距离进行比较，以修正通过距离测量部获得的测量结果。

技术领域

本文公开的技术涉及通过向工件照射激光来执行加工的诸如激光打标设备等的激光加工设备。

背景技术

传统上，能够测量距工件的距离的激光加工设备是已知的。

例如，日本特开2006-315031号公报(专利文献1)公开了一种激光加工设备，其包括：对物聚光透镜(objective condensing lens)，其使从激光源发出的激光(脉冲激光)聚集；距离测量传感器，其测量对物聚光透镜与工件(加工对象)之间的距离；以及致动器，其基于通过距离测量传感器获得的测量结果调整激光的焦点位置。

日本特开2008-215829号公报(专利文献2)公开了如在日本特开2006-315031号公报(专利文献1)中说明的距离测量传感器(位移传感器)以及用于校准距离测量传感器的夹具(校准用夹具)。夹具是与激光加工设备分离的构件，并且待由操作者从外部带入和安装。

具体地，在校准距离测量传感器时，将在日本特开2008-215829号公报(专利文献2)中公开的夹具安装在放置工件(加工对象)的台上。

通过向如此安装好的夹具照射来自位移传感器的距离测量光(测量用激光)和适当地检测反射光，来校准距离测量传感器。

发明内容

然而，当采用日本特开2008-215829号公报(专利文献2)的构造时，为了校准距离测量传感器，需要准备单独的夹具。因此，这花费时间且不方便。另外，为了使用该夹具，需要以其它方式预先测量从激光加工设备到夹具的距离。

另外，由于日本特开2008-215829号公报(专利文献2)中公开的夹具从外部带入并安装在台上，所以存在校准精度可能因台周围的环境光和夹具的表面状况而降低的可能性。

鉴于以上情况作出了本文公开的技术，其目的是改善校准精度。

具体地，本发明的第一方面涉及激光加工设备，其包括：激发光生成部，其生成激发光；激光输出部，其基于通过激发光生成部生成的激发光生成激光并发出该激光；激光扫描部，其包括第一扫描器和第二扫描器，第一扫描器沿第一方向扫描从激光输出部发出的激光，第二扫描器沿与第一方向大致正交的第二方向扫描被第一扫描器扫描过的激光，并且激光扫描部向工件照射被第二扫描器扫描过的激光；以及壳体，至少激光输出部和激光扫描部设置在壳体中。