[发明专利]电子器件、电子设备和移动体

说明书

提供电子器件、电子设备和移动体。电子器件具备：振动基板，其具备振动片和框部，其中，该振动片具备基部和从所述基部延伸的振动臂，该框部连接于所述基部并且在俯视时包围所述振动片；基础部，其支承所述框部，并且在俯视时呈矩形；端子部，其在俯视时沿着与所述振动臂延伸的方向交叉的方向而与所述振动片并排；以及盖体部，其具有比所述基础部小的外形；在俯视时，所述振动臂延伸的方向相对于所述基础部的所述矩形的边延伸的方向倾斜，所述盖体部在俯视时与所述振动片重叠，且构成为使所述端子部露出。

本申请是申请日为2015年5月25日，国家申请号为201510272020.9，发明名称为“电子器件、电子设备和移动体”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及电子器件、电子设备和移动体。

背景技术

作为振荡器、陀螺仪传感器等电子器件，已知有具备具有多个振动臂的音叉式振子的电子器件。

例如，专利文献1中记载的振子具有形成有振动臂的单晶硅基板、基准电极、压电体、驱动电极和检测电极。在该振子中，在基准电极与驱动电极之间施加电压，由此使压电体伸缩，使振动臂沿单晶硅基板的厚度方向振动。在这样的状态下，在向振动臂的长边方向施加角速度时，会在与振动臂的振动方向垂直的方向上产生科里奥利力。通过使因该科里奥利力而在压电体中产生的电荷作为信号从检测电极输出，能够检测所施加的角速度。

近年来，针对这样的电子器件，强烈要求小型化。但是，随着小型化的发展，振子的振动特性有可能变差。

专利文献1：日本特开2005-241382号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种抑制振动片的振动特性下降且实现小型化的电子器件以及具有该电子器件的电子设备和移动体。

本发明是为了解决上述的问题的至少一部分而完成的，可作为以下的应用例来实现。

[应用例1]

本应用例的电子器件的特征在于具有：振动片，其具有振动臂；以及基部，其支承所述振动片，在俯视时，所述基部的边延伸的方向与所述振动臂延伸的方向相交。

由此，得到抑制振动片的振动特性下降且实现小型化的电子器件。

[应用例2]

在本应用例的电子器件中，优选的是，所述振动臂在其一个端部处被支承于所述基部。

由此，能够可靠地支承振动臂，因此，能够抑制振动臂中激励出的振动变得不稳定。

[应用例3]

在本应用例的电子器件中，优选的是，所述振动臂沿其厚度方向弯曲振动。

由此，能够实现稳定的振动。

[应用例4]

在本应用例的电子器件中，优选的是，所述振动片具有3条所述振动臂。

由此，使相邻的2条振动臂彼此朝相反方向弯曲振动，从而能够使从相邻的2条振动臂的构成的2个组中产生的泄漏振动相互抵消。其结果是，能够防止振动泄漏，得到可输出频率精度高的信号的电子器件。

[应用例5]

在本应用例的电子器件中，优选的是，所述振动臂的构成材料包含硅。

由此，能够比较低廉地实现振动特性优异的振动臂。

[应用例6]

在本应用例的电子器件中，优选的是，所述基部的构成材料包含硅。

由此，能够通过蚀刻，以高尺寸精度形成基部。

[应用例7]