[发明专利]一种基于指向型CVD技术的3D打印装置

权利要求书

1.一种基于指向型CVD技术的3D打印装置,其特征在于，其主要包含：

喷头(5)，其内部具有气体缓冲室，能使混合气体由下侧出口稳定流出；

喷头移动台(2)，其能控制喷头沿三维方向移动，以控制喷头(5)的空间位置；

加热组件，设于所述喷头(5)上，以使加工物件(8)或工作平台(9)能提供CVD反应的温度条件，控制沉积金属指向型生长；

工作平台(9)，承载工件；

工作平台移动支架(10)，其可控制工作平台(9)的空间位置；

收集罩(6)，收集CVD反应后的尾气和余热；

分离提纯系统(13)，对收集罩(6)收集的CVD反应后的尾气进行分离提纯，并将有效气体输送至打印喷头(5)进行反应；

工业反应提纯系统(15)，将所述分离提纯系统(13)分离的尾气中的废气与废料金属反应、精炼、提纯以获得有效气体氢气和气态氟化金属或氯化金属；并输送给混合器(16)；

混合器(16)，负责将氢气和气态氟化金属或氯化金属按一定比例混合，作为补充气体输送至打印喷头(5)。

2.根据权利要求1所述的一种基于指向型CVD技术的3D打印装置，其特征在于，该装置还包含一个内部充满保护气体的密闭室(1)，所述喷头(5)及工作平台(9)容置于其内。

3.根据权利要求1所述的一种基于指向型CVD技术的3D打印装置，其特征在于，所述加热组件为激光发生器或在喷头设置的电磁感应线圈。

4.根据权利要求1所述的一种基于指向型CVD技术的3D打印装置，其特征在于：所述工作平台(9)，其内部设有用以将工件多余的热量导出的水冷装置。

5.根据权利要求1所述的一种基于指向型CVD技术的3D打印装置，其特征在于：所述工业反应提纯系统(15)包含电解、液化、冷凝装置中的一种或数种以通过用尾气与废料金属反应获得有效气体氢气和气态氟化金属或氯化金属。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种基于指向型CVD技术的3D打印装置，其特征在于：所述混合器16还包括加料装置以将外加的氢气和气态氟化金属或氯化金属原料输入系统。

7.根据权利要求1-5任一所述的一种基于指向型CVD技术的3D打印装置，其特征在于：所述打印装置还包含有负气压泵(11)，通过形成负压，将收集罩(6)内的尾气和余热抽出并传给分离提纯系统(13)。