[发明专利]一种抗水解红光LED芯片及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201911328073.2 申请日: 2019-12-20
公开(公告)号: CN110943149A 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 仇美懿;庄家铭;徐亮 申请(专利权)人: 佛山市国星半导体技术有限公司
主分类号: H01L33/44 分类号: H01L33/44;H01L33/30;H01L33/36;H01L33/00
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 胡枫;李素兰
地址: 528200 广东省佛山市南海区狮*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 水解 红光 led 芯片 及其 制作方法
【说明书】:

发明公开了一种抗水解红光LED芯片及其制作方法,所述芯片包括发光结构、透明导电层、第一电极、第二电极、保护层和粘附层,所述粘附层设于第二电极上,所述保护层附着在发光结构、透明导电层、第二电极和粘附层的表面和侧壁,所述保护层由SiO2、SiNx、Al2O3和AlN中的一种或几种制成,所述保护层的厚度为d,所述发光结构发出的光的波长为λ,d=(1/4)Kλ,K为整数,所述粘附层由Ti制成。本发明的保护层不仅可以保护芯片,还可以减少芯片侧面的全反射,提高芯片的出光效率。

技术领域

本发明涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种抗水解红光LED芯片及其制作方法。

背景技术

LED具有体积小,重量轻,功耗低,寿命长,响应速度快,安全性好等优点。在半导发光器件这一高技术领域,近年来世界上先进的国家发展很快。新器件研制成功后迅速商品化,并很快形成产业,特别是己经广泛应用的发光二级管。

参见图1,现有的红光LED芯片包括第一半导体层21,设有第一半导体层21正面的有源层22,设于有源层22上的第二半导体层23,设于第二半导体层 23上的透明导电层24,设于透明导电层24上的第二电极31,以及设于第一半导体层21背面的第一电极32,其中,第一半导体层21和第一电极32之间设有银胶层11,所述银胶层11用于将第一电极32粘附在第一半导体层21上。

现有的红光LED芯片一般用于显示屏、指示灯,参见图2,现有的红光LED 芯片因为封装灯珠受潮之后,外加一反向电压,就会形成一个电解通道,第一电极32的金属会发生水解,从而迁移到第二电极31,其中,水解金属会附着在芯片的侧壁上,使芯片发生短路。此外,芯片中的银胶层11也会溢出造成芯片短路。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于,提供一种抗水解红光LED芯片,通过形成保护层,以保护芯片发生水解、短路,同时保证芯片的出光效率。

本发明还要解决的技术问题在于,提供一种抗水解红光LED芯片的制作方法,通过形成保护层,以保护芯片发生水解、短路,同时保证芯片的出光效率。

为了解决上述技术问题,本发明提供了一种抗水解红光LED芯片,包括发光结构、透明导电层、第一电极、第二电极、保护层和粘附层,所述发光结构包括第一半导体层、设于第一半导体层正面的有源层、设于有源层上的第二半导体层,所述透明导电层设于第二半导体层上,所述第一电极设于第一半导体层的背面,所述第二电极设于透明导电层上,所述粘附层设于第二电极上;

所述保护层附着在发光结构、透明导电层、第二电极和粘附层的表面和侧壁;

所述保护层由SiO2、SiNx、Al2O3和AlN中的一种或几种制成;

所述保护层的厚度为d,所述发光结构发出的光的波长为λ,d=(1/4)Kλ, K为整数;

所述粘附层由Ti制成。

作为上述方案的改进,所述保护层和发光结构的侧壁之间还设有钝化层,所述钝化层将保护层粘附在发光结构的侧壁上,所述钝化层由GaO制成。

作为上述方案的改进,所述钝化层的厚度为10~30埃。

作为上述方案的改进,所述发光结构的侧壁具有倾斜角度,所述倾斜角度为45~75度。

作为上述方案的改进,所述第一电极包括第一Au层、Ge/Au层和第二Au 层,所述Ge/Au层设置在第一Au层和第二Au层之间;

所述第二电极包括Cr层、Ti层和第三Au层,所述Cr层设置在发光结构上,所述Ti层设置在Cr层和第三Au层之间。

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