[发明专利]一种破碎工具表面金属杂质的测定方法

说明书

本申请公开了一种破碎工具表面金属杂质的测定方法，包括从破碎工具上取下预设面积的测试样品；将所述测试样品放入容器内并倒入具有预设浓度的硝酸，浸泡预设时间；利用电感耦合等离子体质谱仪测定所述测试样品中的待测金属杂质的CPS强度，依据所述CPS强度与金属杂质浓度的关系得到所述待测金属杂质的浓度；利用所述待测金属杂质的浓度和空白硝酸中金属杂质浓度、所述测试样品的质量、硝酸的体积以及所述预设面积计算得到所述待测金属杂质的含量。上述测定方法无需利用到中间介质，检测数据更准确，更具代表性，从破碎环节降低杂质的引入，提高最终产品的质量。

技术领域

本发明属于多晶硅制造技术领域，特别是涉及一种破碎工具表面金属杂质的测定方法。

背景技术

目前，在多晶硅的制造过程中，会用到多种破碎工具，例如：破碎手套、破碎锤、聚氨酯板、覆盖薄膜和包装内膜袋等等。其中，表面金属杂质的引入是行业内竞争的非常关键的因素，因为控制不了多晶硅的二次污染，企业产品的质量就得不到保障，产品就会被迅速淘汰，所以保证表面金属杂质含量检测数据的准确性就成为保证产品质量的关键。

现有的检测技术是先用无尘擦拭布对破碎工具表面进行擦拭，将破碎工具中的金属杂质擦到无尘擦拭布上，再检测该无尘擦拭布中的金属杂质，在该方法中，无尘擦拭布作为一种中间介质，对其要求比较高，因为每块无尘擦拭布的空白金属杂质均不相同，因此在数据对比时，可参考性并不强，出具的数据参考价值并不大，也就是说，这种方法并不是很好。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种破碎工具表面金属杂质的测定方法，无需利用到中间介质，检测数据更准确，更具代表性，从破碎环节降低杂质的引入，提高最终产品的质量。

本发明提供的一种破碎工具表面金属杂质的测定方法包括：

从破碎工具上取下预设面积的测试样品；

将所述测试样品放入容器内并倒入具有预设浓度的硝酸，浸泡预设时间；

利用电感耦合等离子体质谱仪测定所述测试样品中的待测金属杂质的CPS强度，依据所述CPS强度与金属杂质浓度的关系得到所述待测金属杂质的浓度；

利用所述待测金属杂质的浓度和空白硝酸中金属杂质浓度、所述测试样品的质量、硝酸的体积以及所述预设面积计算得到所述待测金属杂质的含量。

优选的，在上述破碎工具表面金属杂质的测定方法中，所述从破碎工具上取下预设面积的测试样品包括：

利用陶瓷剪刀从所述破碎工具上裁剪下预设面积的测试样品。

优选的，在上述破碎工具表面金属杂质的测定方法中，所述将所述测试样品放入容器内为：

将所述测试样品放入FEP烧杯内。

优选的，在上述破碎工具表面金属杂质的测定方法中，所述预设浓度为10％至15％。

优选的，在上述破碎工具表面金属杂质的测定方法中，所述预设时间为2小时至3小时。

优选的，在上述破碎工具表面金属杂质的测定方法中，所述利用所述待测金属杂质的浓度和空白硝酸中金属杂质浓度、所述测试样品的质量、硝酸的体积以及所述预设面积计算得到所述待测金属杂质的含量为：

利用如下公式

计算所述待测金属杂质的含量，其中，W_x为所述待测金属杂质的含量，C_x为所述待测金属杂质的浓度，C₀为所述空白硝酸中金属杂质浓度，S为所述预设面积，m为所述测试样品的质量，V为硝酸的体积。