[发明专利]一种双层立式石英管载体及其加工方法

权利要求书

1.一种双层立式石英管载体，其特征在于：包括内管(1)、外管(2)、第一石英片(3)、第二石英片(4)、法兰(5)、第一偶管(6)、第二偶管(7)、第三偶管(8)、通气管(10)、第一小法兰(11)、第二小法兰(12)、第三小法兰(13)，所述内管(1)镶嵌在外管(2)内，所述内管(1)与外管(2)通过焊接方式固定连接在一起，所述内管(1)、外管(2)之间空隙距离为15mm，所述第一偶管(6)、第二偶管(7)、第三偶管(8)、固定焊接在所述内管(1)内壁上，所述第一小法兰(10)、第二小法兰(11)、第三小法兰(12)与所述内管(1)固定焊接，所述通气管(10)与内管(1)固定焊接，且位于通气管(10)下固定焊接支撑片。

2.根据权利要求1所述的一种双层立式石英管载体，其特征在于：所述内管(1)一端固定焊接有第一石英片(3)，所述第一石英片(3)呈弧形；

所述内管(1)另一端固定焊接有法兰(5)，所述法兰(5)上固定开有台阶轴。

3.根据权利要求1所述的一种双层立式石英管载体，其特征在于：所述第一小法兰(11)、第二小法兰(12)结构相同，所述第一小法兰(11)、第二小法兰(12)通过连接管与内管(1)固定焊接，所述第一小法兰(11)、第二小法兰(12)下固定焊接有支撑片，所述支撑片末端固定与法兰(5)焊接，所述支撑片上端与第一小法兰(11)、第二小法兰(12)连接位置固定开有弧形凹槽口。

4.根据权利要求1所述的一种双层立式石英管载体，其特征在于：所述第三小法兰(13)上固定焊接有连接管，所述连接管与所述内管(1)固定焊接，所述第三小法兰(13)下固定焊接有支撑片，所述支撑片末端固定与法兰(5)焊接，所述支撑片上端与第三小法兰(12)连接位置固定开有弧形凹槽口。

5.根据权利要求1或2所述的一种双层立式石英管载体，其特征在于：所述外管(2)一端固定焊接有第二石英片(4)，所述第二石英片(4)呈弧形；

所述外管(2)与内管连接处固定焊接有第一搭料，所述搭料呈倾斜状，所述外管(2)与内管(1)连接处的法兰(5)上固定焊接有第二搭料，所述第二搭料，所述第二搭料固定在法兰(5)的台阶轴上；

所述第一搭料与第二搭料上下倾斜角度相互配合，所述第一搭料与第二搭料通过焊条焊接为一体。

6.根据权利要求1所述的一种双层立式石英管载体，其特征在于：所述第三小法兰(13)上的固定焊接的连接管延伸至内管(1)与外管(2)之间。

7.根据权利要求1所述的一种双层立式石英管载体，其特征在于：所述第三偶管(8)对称设置有2个，且第三偶管(8)通过内管(1)上设置的孔道延伸至内管(1)外30mm。

8.根据权利要求1所述的一种双层立式石英管载体，其特征在于：所述第一偶管(6)固定设置有2个，且第一偶管(6)一端与所述第一法兰(11)固定连接并相通，所述第一偶管(6)的另一端延伸至内管(1)的第一石英片(3)下，且与第一石英片(3)距离25mm。

9.根据权利要求1所述的一种双层立式石英管载体，其特征在于：所述第二偶管(7)一端与所述第二小法兰(12)固定焊接连接并相通，第二偶管(7)的另一端延伸至内管(1)与外管(2)之间。

10.根据权利要求1-9所述的一种双层立式石英管载体的加工方法，其特征在于，加工方法如下：

1)整体下料，内管(1)、外管(2)、第一石英片(3)、第二石英片(4)、法兰(5)、第一偶管(6)、第二偶管(7)、第三偶管(8)、通气管(10)、第一小法兰(11)、第二小法兰(12)、第三小法兰(13)；

2)将步骤1中各个部件通过2％硝酸浸泡，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

3)外管(2)与第一石英片(3)贴片封圆头，充分退火，恒温2小时，通过2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净，外管(2)缠第一搭料，充分退火，恒温2小时；

4)磨削外圆第二搭料，采用2％硝酸浸泡，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

5)切割第二搭料斜口，充分退火，恒温2小时，手工倒角，尖角倒钝，通过2％硝酸浸泡，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净，

6)火抛外管整体，倒角区域、顶片，充分退火，恒温2小时；

7)内管(1)与第二石英片(4)贴片封圆头，充分退火，恒温2小时，采用2％硝酸浸泡，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净，对接要求切磨总长，然后通过2％硝酸浸泡，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

8)通过灯工车床对接内管(1)与法兰(5)，充分退火，恒温2小时，磨削法兰(5)，经过两次酸洗，第一次采用2％硝酸浸泡，纯水清洗干净，第二次采用2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

9)火抛法兰，充分退火，恒温2小时，2％硝酸浸泡，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

10)内管缠带裙,内管有角度治具，充分退火，恒温2小时，磨削内管带裙，通过2％硝酸浸泡，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

11)内管(1)打孔，充分退火，恒温2小时，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

12)火抛内管整体，打孔、倒角区域、顶片，充分退火，恒温2小时；

13)磨削外圆第一搭料，2％硝酸浸泡，纯水清洗干净，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

14)焊接内管(1)与第一偶管(6)，充分退火，恒温2小时，通过2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

15)焊接内管(1)与第二偶管(7)、第三偶管(8)，充分退火，恒温2小时，通过2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

16)焊接内管(1)与第一小法兰(11)、第二小法兰(12)、第三小法兰(13)，焊接通气管(10)，充分退火，恒温2小时，通过2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

17)火抛内套整体、第一偶管(6)，充分退火，恒温2小时，通过2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净，火抛偶管第二偶管(7)、第三偶管(8)，充分退火，恒温2小时，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净，火抛法兰、第一小法兰(11)、第二小法兰(12)、第三小法兰(13)，充分退火，恒温2小时；

18)将步骤2-17通过2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净，组装内、外管，确认后封焊，充分退火，恒温2小时，2％氢氟酸浸泡，纯水清洗干净；

19)将步骤18整体火抛，充分退火，恒温2小时，根据要求喷砂，然后通过2％硝酸浸泡，纯水清洗干净，封装入库。