[发明专利]一种外延工艺石英焊件及其加工方法

权利要求书

1.一种外延工艺石英焊件，包括第一乳白砣石英(1)、对接孔(2)、第一透明石英(3)、第二透明石英(4)、球头体(5)、石英旋转轴(6)、第二乳白砣石英(7)、托架(8)、硅片(9)，其特征在于：所述第一乳白砣石英(1)上开有对接孔(2)，所述第一透明石英(3)与第一乳白砣石英(1)焊接为一体，所述第一透明石英(3)下端固定连接第二透明石英(4)，所述第二透明石英(4)下固定连接球头体(5)，所述第一透明石英(3)、第二透明石英(4)镶嵌有石英旋转轴(6)。

2.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件，其特征在于：所述第一乳白砣石英(1)呈环形，且位于第一乳白砣石英(1)上端面设有与对接法兰相配合的石英环垫槽。

3.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件，其特征在于：所述第一透明石英(3)呈广口喇叭状，所述广口喇叭状大端与第一乳白砣石英(1)下端固定开有的台阶对焊为一体。

4.根据权利要求3所述的一种外延工艺石英焊件，其特征在于：所述第一透明石英(3)广口喇叭状小端固定设有圆弧过度区，所述圆弧过度区的弧角100-116度。

5.根据权利要求3所述的一种外延工艺石英焊件，其特征在于：所述球头体(5)与第二透明石英(4)固定焊接为一体，所述球头体(5)内开有通孔，所述球头体(5)内通孔直径与第二透明石英(4)内开设的通孔相同；

所述球头体(5)上下端面水平且平行。

6.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件，其特征在于：所述所述石英旋转轴(6)分为上段、中段、下段三部分，所述石英旋转轴(6)的中段为第二乳白砣石英(7)，所述石英旋转轴(6)的上段、下段为透明石英；

所述石英旋转轴(6)分为上段、中段、下段通过热熔焊接固定在一起。

7.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件，其特征在于：所述石英旋转轴(6)上端固定连接有托架(8)，所述托架(8)设置有3个且均布于所述石英旋转轴(6)上端圆周面上；

所述托架(8)为三个支撑板，位于托架(8)末端固定设有水平托板，所述托架(8)与石英旋转轴(6)固定焊接，所述水平托板上固定开有螺纹孔；

所述水平托板上固定安装有硅片(9)，所述硅片(9)与水平托板通过螺纹固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件，其特征在于：所述石英旋转轴(6)与第一透明石英(3)、第二透明石英(4)之间相距有30-50mm。

9.根据权利要求7所述的一种外延工艺石英焊件，其特征在于：所述石英旋转轴(6)与第一乳白砣石英(1)之间相距40-60mm。

10.根据权利要求1-9所述的一种外延工艺石英焊件的加工方法，其特征在于，所述加工工艺如下：

1)经过酸洗机进行外表处理，处理后通过车床火加工进行片平底工序；

2)利用切割锯锯切石英管封头处前端的第一透明石英(3)，通过酸洗机进行酸洗；

3)通过灯工车床对接第二透明石英(4)后退火炉进行退火；

4)对步骤1-3进行清根处理，入酸洗机进行酸洗；

5)整体抛光，做退火处理；

6)根据产品对接实际需求长度切割，入酸洗机进行酸洗；

7)检验同轴度是否符合要求，根据成品要求，对产品做微调，保证在要求的同轴度范围内；

8)通过MC加工中心，根据要求进行加工，将表面未抛透部位重新研磨达到石英钟罩标准，保证产品透光性能良好；

9)将步骤8加工后成品进行整体抛火，并退火炉退火处理；

10)最终检验-经酸洗机、封装机，洗净-干燥-内包装封装。