[发明专利]内筒壁吹扫装置

权利要求书

1.一种内筒壁吹扫装置，其特征在于，包括：

反应腔室；

进气喷头，设置在所述反应腔室的顶部，用于朝所述反应腔室内的托盘上的衬底供给反应气体；

内筒，设置在所述反应腔室内，位于所述进气喷头和所述托盘之间；

进气环，和所述内筒的上端连接，且与所述内筒的内筒壁之间形成有环形腔以及与所述环形腔连通的环形狭缝；

进气管，所述进气管的一端和所述进气环连接，用于给所述环形腔提供吹扫气体，所述进气管的另一端伸出所述反应腔室。

2.根据权利要求1所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述进气管至少有3根，均匀分布在所述进气环上部的同一圆周上。

3.根据权利要求1所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述进气环包括本体，所述本体上部开设有上部孔，所述本体下部开设有下部孔，所述本体内部开设有横向孔，所述横向孔的一端和所述上部孔连通，所述横向孔的另一端和所述下部孔连通；所述进气管和所述上部孔连接，所述环形腔和所述下部孔连通。

4.根据权利要求3所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述上部孔沿所述本体的中心线方向开设在所述本体的上部，所述下部孔沿所述本体的中心线方向开设在所述本体的下部，所述下部孔位于所述上部孔的内侧，所述横向孔沿所述本体的直径方向开设在所述本体的内部。

5.根据权利要求3所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述横向孔为盲孔，沿所述本体的直径方向开设在所述本体的侧壁，所述横向孔的外侧设置有堵头。

6.根据权利要求3所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述本体的上部设置有导向部，所述导向部的上端和所述进气喷头接触连接。

7.根据权利要求6所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述导向部为圆筒薄壁状。

8.根据权利要求3所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述本体的下部设置有形成部，所述形成部靠近所述内筒壁的一侧包括第一环形面和外圆锥形面，所述外圆锥形面设置在所述第一环形面的下端，所述第一环形面和所述内筒壁之间的距离不变，所述外圆锥形面与所述内筒壁之间的距离由上到下逐渐递减从而使所述形成部的下端与所述内筒之间形成有所述环形狭缝。

9.根据权利要求8所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述形成部靠近所述内筒壁的一侧还包括第二环形面，所述第二环形面设置在所述外圆锥形面的下端，所述第二环形面与所述内筒壁之间的距离不变。

10.根据权利要求8所述的内筒壁吹扫装置，其特征在于，所述形成部远离所述内筒壁的一侧为内圆锥形面，所述内圆锥形面与所述内筒壁之间的距离由上到下逐渐递减。