[发明专利]铜表面微蚀粗化液及其制备方法有效
| 申请号： | 201911337775.7 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111020584B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 陈修宁;王立中;黄京华;李晨庆;黄志齐;王淑萍;刘亮亮 | 申请（专利权）人： | 昆山市板明电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 盛建德;孙海燕 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 微蚀粗化液 及其 制备 方法 | ||
1.一种铜表面微蚀粗化液，其特征在于：
包括如下成分及其质量浓度：
来自铜离子源的二价铜离子10～40g/L、有机酸20～150g/L、来自氯离子源的氯离子10～90g/L、水溶性聚合物0.001～1g/L和吡啶衍生物0.005-1g/L，溶剂为水；
其中有机酸为甲酸、乙酸、苹果酸、柠檬酸、酒石酸、乙二胺四乙酸、亚氨基二琥珀酸、一氯乙酸、二氯乙酸和三氯乙酸中的至少一种；
所述水溶性聚合物是乙烯基咪唑和共聚单体采用自由基聚合形成交替共聚物，所述共聚单体为丙烯酰胺、二烯丙基季铵盐、丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵、甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵、基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸异辛酯或苯乙烯；所述吡啶衍生物为烟酸或硫代烟酸；所述铜离子源为氯化铜、溴化铜、甲酸铜或碱式碳酸铜，所述氯离子源为氢氯酸、氯化钠、氯化钙、氯化钾、氯化锌、氯化铁、氯化铝、氯化铜和氯化铵中的至少一种，所述水溶性聚合物的重均分子量为2000～500000；
所述粗化液的制备方法，步骤如下：
步骤一：称取配方量的铜离子源、有机酸和氯离子源，依次加入去离子水中搅拌溶解；
步骤二：称取配方量的水溶性聚合物和吡啶衍生物于步骤一制得的溶液中，搅拌均匀；
步骤三：用去离子水将步骤二中得到的溶液定容至1L，搅拌均匀即得本粗化液。
2.根据权利要求1所述的铜表面微蚀粗化液，其特征在于：所述有机酸为甲酸，所述微蚀粗化液的pH值小于3.5，所述有机酸的质量浓度为25～120g/L。
3.根据权利要求1-2任一项所述的铜表面微蚀粗化液，其特征在于：包括如下成分及其质量浓度：
来自氯化铜的铜离子10～40g/L、甲酸25～120g/L、来自氯离子源的氯离子10～90g/L、水溶性聚合物0.001～1g/L和烟酸0.005g/L～1g/L，溶剂为水。
4.一种根据权利要求1-3任一项所述的铜表面微蚀粗化液的制备方法，其特征在于：步骤如下：
步骤一：称取配方量的铜离子源、有机酸和氯离子源，依次加入去离子水中搅拌溶解；
步骤二：称取配方量的水溶性聚合物和吡啶衍生物于步骤一制得的溶液中，搅拌均匀；
步骤三：用去离子水将步骤二中得到的溶液定容至1L，搅拌均匀即得本粗化液。
5.根据权利要求4所述的铜表面微蚀粗化液的制备方法，其特征在于：所述水溶性聚合物为自制的乙烯基咪唑和丙烯酰胺共聚物、乙烯基咪唑和二烯丙基季铵盐共聚物或者乙烯基咪唑和甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵共聚物。
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