[发明专利]一种提高铝掺杂氧化锌导电玻璃热稳定性的方法

权利要求书

1.一种提高铝掺杂氧化锌导电玻璃热稳定性的方法，其特征在于包括以下步骤：

1）将AZO导电玻璃用酒精超声清洗10min，然后用去离子水清洗1min，接着用丙酮超声清洗5min，最后用去离子清洗1min，得到表面较干净的AZO导电玻璃；

2）在总长为10cm的刚玉舟中放入纯度99.996%的高纯锌粉和清洗干净的AZO导电玻璃，把锌粉放在1cm的位置，AZO导电玻璃放在4cm的位置，使锌源与衬底之间的距离控制在3cm，并将刚玉舟送入三温区CVD管式炉中间温区的中央位置，其中锌粉位于靠近管式炉的进气端，AZO导电玻璃靠近管式炉的出气端，随之给管式炉抽真空，并通入流量为50sccm的氩气进行吹扫，重复3次后再次抽真空；

3）当系统内真空度达到8 mbar时，系统按10℃/min速率升温，令两侧温区的温度升到250℃，中间温区的温度升到600℃；

4）当两侧温区达到250℃且中间温区达到600℃时，向炉管内通入氧气和氩气的混气气体，氩气的气流量始终保持50sccm，氧气的气流量为4.0 sccm，通气反应时间设置为 5min；

5）待步骤4）完成以后，停止通入气体，系统进行自然降温，即在AZO导电玻璃上得到均匀连续的氧化锌层，即ZnO/AZO。