[发明专利]一种高精度自水平空气弹簧隔振台

说明书

一种高精度自水平空气弹簧隔振台，属于精密检测、实验、加工设备技术领域。本发明解决了现有的空气弹簧隔振台隔振效果差的问题。它包括隔振台体及位于隔振台体下方的四个空气弹簧，每个空气弹簧的下方各装设有一个储气罐，每个储气罐的外壁均装设有比例阀和电磁阀，外部气源与储气罐之间依次通过比例阀、电磁阀及第一管路连通，每个储气罐与其上方的空气弹簧分别通过第二管路连通，空气弹簧的上、下两端分别固装有上盖板和下盖板，且所述下盖板上装设有高度传感器。外部气源分别通过四路控制结构进入空气弹簧，通过读取高度传感器实时监测值计算、调整空气弹簧内部气压，最终达到隔振台的高精度水平姿态和优良的隔振效果。

技术领域

本发明涉及一种高精度自水平空气弹簧隔振台，属于精密检测、实验、加工设备技术领域。

背景技术

由空气弹簧组成的隔振台被广泛应用于精密、超精密检测与加工行业中。它主要包括隔振平台、部分空气弹簧、控制阀、附加气室、控制单元等。当外界振动促使空气弹簧发生形变时，空气弹簧主气室与附加气室之间产生压力差，空气就会通过节流孔或管路在两者之间进行流动，产生阻尼效果，从而吸收一部分振动能量，起到隔离振动的作用。

现有技术存在如下技术问题：

1、隔振平台多采用平板式台体(如图8所示)，在其下方加设隔振机构，其系统重心较高，位于支撑面以上，不利于隔振效果；

2、采用的空气弹簧多为单气室，调整时波动大，不利于隔振效果；

3、现有空气弹簧隔振系统多采用三点控制方法，即：根据“三点确定一个平面”原理，设三个检测点，对应三路控制，但系统稳定性较差，如任意一个检测点出现变化，则整个面将跟随变化，不利于隔振效果。

发明内容

本发明是为了解决现有的空气弹簧隔振台隔振效果差的问题，进而提供了一种高精度自水平空气弹簧隔振台。

本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种高精度自水平空气弹簧隔振台，它包括隔振台体及位于隔振台体下方的四个空气弹簧，每个空气弹簧的下方各装设有一个储气罐，每个储气罐的外壁均装设有比例阀和电磁阀，外部气源与储气罐之间依次通过比例阀、电磁阀及第一管路连通，每个储气罐与其上方的空气弹簧分别通过第二管路连通，空气弹簧的上、下两端分别固装有上盖板和下盖板，且所述下盖板上装设有高度传感器。

进一步地，四个空气弹簧呈矩形布置。

进一步地，所述隔振台体为T型结构，四个空气弹簧两两对称布置在T型结构隔振台体的两翼。

进一步地，上盖板的下表面竖直固设有螺栓，下盖板上竖直开设有通孔，螺栓的下部穿设在所述通孔内，且位于下盖板下方的螺栓上螺纹连接有限位螺母。

进一步地，第二管路上装设有节流阀。

进一步地，所述第一管路与所述第二管路均为PU管。

进一步地，电磁阀与比例阀同时通过安装支架固装在其所在储气罐外壁。

本发明与现有技术相比具有以下效果：

外部气源分别通过四路控制结构进入空气弹簧，通过读取高度传感器实时监测值计算、调整空气弹簧内部气压，最终达到隔振台的高精度水平姿态和优良的隔振效果。

储气罐与其上的空气弹簧通过第二管路连通，形成双气室结构。

本申请适用于精密检测、精密实验、精密加工领域，特别适用于对地面振动环境有要求的精密设备。

附图说明

图1为本申请的立体结构示意图；

图2为本申请的主视示意图；