[发明专利]一种新型罗茨真空泵测试系统

权利要求书

1.一种新型罗茨真空泵测试系统，包括适配机架(1)、电控箱(2)和旋片真空泵(4)，其特征在于：所述适配机架(1)内固定有电控箱(2)，且适配机架(1)上安装有罗茨真空泵本体(3)，所述适配机架(1)的一侧设置有旋片真空泵(4)，且旋片真空泵(4)的输入端连接有冷却器(8)，所述冷却器(8)与罗茨真空泵本体(3)之间安装有测试罩(5)，且测试罩(5)和冷却器(8)上均固定有真空计(7)，所述罗茨真空泵本体(3)的输出端连接有冷却器(8)，且冷却器(8)的一端与旋片真空泵(4)的输入端相连接，所述冷却器(8)与测试罩(5)之间分别连接有小流量转子流量计(9)、中流量转子流量计(10)和大流量转子流量计(11)。

2.根据权利要求1所述的一种新型罗茨真空泵测试系统，其特征在于：所述罗茨真空泵(3)和旋片真空泵(4)的实际抽速比可以很大，可以做10～100倍都可以。

3.根据权利要求1所述的一种新型罗茨真空泵测试系统，其特征在于：所述罗茨真空泵本体(3)和冷却器(8)在采用水冷时，冷却水流量、进水口温度应符合产品设计规定。

4.根据权利要求1所述的一种新型罗茨真空泵测试系统，其特征在于：所述旋片真空泵(4)与测试罩(5)之间的连接管道上以及小流量转子流量计(9)、中流量转子流量计(10)和大流量转子流量计(11)上均安装有调节阀门(13)。

5.根据权利要求1所述的一种新型罗茨真空泵测试系统，其特征在于：所述罗茨真空泵(3)、冷却器(8)、测试罩(5)和适配接管(6)之间形成一个内循环。

6.根据权利要求1所述的一种新型罗茨真空泵测试系统，其特征在于：所述旋片真空泵(4)与测试罩(5)之间的连接管道上安装有数显流量计(12)。

7.根据权利要求1所述的一种新型罗茨真空泵测试系统，其特征在于：所述小流量转子流量计(9)、中流量转子流量计(10)和大流量转子流量计(11)依次分布于测试罩(5)和冷却器(8)之间。

8.根据权利要求1所述的一种新型罗茨真空泵测试系统，其特征在于：所述实验气体为室温干燥气体。