[发明专利]一种用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置有效

专利信息
申请号: 201911343459.0 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN110963696B 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 江锋;钱昆;黄本华;刘瑞林;孙周;严薇 申请(专利权)人: 江苏法尔胜光子有限公司;江苏法尔胜光通信科技有限公司;法尔胜泓昇集团有限公司
主分类号: C03B37/014 分类号: C03B37/014;C03B37/018
代理公司: 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 代理人: 孙燕波
地址: 214400 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 制备 光纤 预制 ovd 沉积 装置
【权利要求书】:

1.一种用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:包括从上往下依次设置的抽风管、一级缓冲室、二级缓冲室、沉积腔室,所述沉积腔室底部设置有进风口,沉积芯棒和沉积喷灯设置在所述沉积腔室内部,所述沉积腔室为屋型:上部为梯形、下部为方型、顶部与所述二级缓冲室狭缝对接;所述二级缓冲室下部为倒梯形;所述一级缓冲室为圆管型,端面设置补风管,所述补风管上设置补风阀用于调节补风管的开合大小,所述一级缓冲室通过多个轴向并排分布的二级分管与所述二级缓冲室上下连通;所述抽风管通过两个弧形管左右对称的与所述一级缓冲室连通。

2.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:所述一级缓冲室的轴向长度长于所述沉积芯棒的轴向长度,所述二级缓冲室的轴向长度长于所述沉积芯棒的轴向长度,所述一级缓冲室的轴向长度长于所述二级缓冲室的轴向长度。

3.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:各所述二级分管上设置有蝶阀。

4.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:所述抽风管上设置有主阀。

5.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:所述沉积腔室设置门。

6.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:在所述沉积腔室内部设置有气压传感器,所述气压传感器位于所述进风口的上方。

7.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:所述进风口为条形孔,该条形孔与沉积芯棒上下对应。

8.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:所述二级缓冲室为钻石型:上部为梯形、下部为倒梯形。

9.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:所述狭缝的长度小于沉积芯棒的轴向长度。

10.根据权利要求1所述的用于制备光纤预制棒的OVD沉积腔体装置,其特征在于:所述抽风管的管径为280~350mm;所述弧形管的管径为150~300mm;所述一级缓冲室的管径为350~500mm、轴向长度较沉积芯棒长600~1200mm;所述补风管的管径为50~100mm,所述二级分管的管径为150~250mm、长度为400~800mm;所述二级缓冲室的轴向长度较沉积芯棒长400~1000mm,所述二级缓冲室下部的倒梯形结构的底部宽度50-200mm、顶部宽度500-1000mm、高500-1200mm;所述管径是指内管直径。

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