[发明专利]正型光敏组合物以及使用其的固化膜

说明书

本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。在所述组合物中，通过含有具有特定结构的重复单元的聚合物的光活性化合物和/或单体的光活性化合物与两种粘合剂树脂(即硅氧烷共聚物和丙烯酸类共聚物)之间的相互作用来适当地调节显影性(即显影速率)。因此，有可能降低在显影步骤期间固化膜厚度损失率。另外，使用所述组合物允许通过所述两种粘合剂树脂与所述光活性化合物之间的相互作用增加暴露部分(即曝光的部分)，这增加了在显影剂中的溶解性，由此可以增强敏感性。此外，所述组合物能够形成固化膜，所述固化膜在膜保留率方面是优异的，并且甚至在后烘烤后具有光滑的表面。

技术领域

本发明涉及一种能够形成在敏感性、分辨率和膜保留率方面优异的固化膜的正型光敏树脂组合物，以及一种由其制备的待用于液晶显示器、有机EL显示器等中的固化膜。

背景技术

一般来说，需要较少加工步骤的正型光敏树脂组合物广泛用于液晶显示装置、有机EL显示装置等中。

然而，使用常规正型光敏树脂组合物的平坦化膜或显示元件具有比使用负型光敏树脂组合物的平坦化膜和显示元件更低的敏感性。因此，前者的敏感性需要得到改进。

同时，常规正型光敏树脂组合物通常包含作为粘合剂树脂的碱溶性树脂(如硅氧烷聚合物和丙烯酸类聚合物)连同光敏剂(如基于醌二叠氮的化合物、芳族醛等)(参见日本公开专利公开号1996-234421)。

然而，当使用此种正型光敏树脂组合物形成固化膜时，在显影步骤期间由显影剂引起的固化膜厚度损失率是大的，并且实现足够令人满意的膜保留率、敏感性、分辨率等存在限制。

发明内容

技术问题

因此，本发明的目的在于提供一种正型光敏树脂组合物，其包含两种粘合剂树脂并且能够形成在敏感性和分辨率方面优异的固化膜(由于在显影期间适当控制显影速率而具有光滑表面)，以及一种由其制备的待用于液晶显示器、有机EL显示器等中的固化膜。

问题的解决方案

为了实现以上目的，本发明提供了一种正型光敏树脂组合物，其包含(A)硅氧烷共聚物；(B)丙烯酸类共聚物；以及(C)光活性化合物，所述光活性化合物包含含有由以下式1表示的重复单元的化合物：

[式1]

在上式1中，A₁和A₂各自独立地是氢、羟基、酚基、C_1-4烷基、C_6-15芳基、或C_1-4烷氧基，R₁是氢或并且n是3至15的整数。

为了实现另一个目的，本发明提供了一种使用所述正型光敏树脂组合物制备的固化膜。

本发明的有益效果

在根据本发明的正型光敏树脂组合物中，通过含有具有特定结构的重复单元的聚合物的光活性化合物和/或单体的光活性化合物与两种粘合剂树脂(即硅氧烷共聚物和丙烯酸类共聚物)之间的相互作用来适当地调节显影性(即显影速率)。因此，有可能降低在显影步骤期间固化膜厚度损失率。另外，使用所述组合物允许通过所述两种粘合剂树脂与所述光活性化合物之间的相互作用增加暴露部分(即曝光的部分)，这增加了在显影剂中的溶解性，由此可以增强敏感性。此外，所述组合物能够形成固化膜，所述固化膜在膜保留率方面是优异的，并且甚至在后烘烤后具有光滑的表面。

附图说明

图1示出了通过光学显微镜由实例和对比实例的组合物获得的固化膜的表面上形成的图案的每张照片。

图2示出了通过扫描电子显微镜由实例和对比实例的组合物获得的固化膜的表面的每张照片。

实施本发明的最佳方式