[发明专利]一种基于光热电效应的激光轨迹跟踪器件及跟踪测试方法

权利要求书

1.一种基于光热电效应的激光轨迹跟踪器件，其特征在于：该器件包括柔性衬底(1)、热电薄膜(2)和四个电极；所述热电薄膜设置在所述柔性衬底上面；所述四个电极包括测量x方向电压信号的正电极(3)、测量沿x方向电压信号的负电极(4)、测量y方向电压信号的正电极(5)和测量y方向电压信号的负电极(6)；该四个电极分别设置在所述热电薄膜上面的四条边上，四个电极将热电薄膜围绕出一个方形区域，相邻两个电极之间互不连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于光热电效应的激光轨迹跟踪器件，其特征在于：所述柔性衬底为云母或聚酰亚胺。

3.根据权利要求1所述的一种基于光热电效应的激光轨迹跟踪器件，其特征在于：所述的热电薄膜采用硒化锡薄膜、碲化铋薄膜或硅锗合金薄膜。

4.根据权利要求1-3任一权利要求所述的一种基于光热电效应的激光轨迹跟踪器件，其特征在于：所述电极通过涂覆导电银浆，或通过热蒸镀金、银、铜与热电薄膜连接。

5.一种采用如权利要求1所述器件的基于光热电效应的激光轨迹跟踪测试方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：

1)位置标定：将跟踪器件放置在带有定位功能的激光器(7)下方，将激光聚焦在器件表面，以器件方形区域的中心为坐标原点，以沿x方向和沿y方向的两个轴构建平面坐标系，选取一系列坐标为(x,y)的节点位置，控制激光光斑照射在坐标为(x,y)的节点位置上，记录每个节点沿x方向的电压信号V_x和沿y方向的电压信号V_y，记录一系列节点位置(x，y)及其对应的电压信号(V_x，V_y)；

以V_x为横坐标，以V_y为纵坐标，将x数值相同y数值由小到大对应的(V_x,V_y)点依次连接为由下至上的折线，将y数值相同x数值由小到大对应的(V_x,V_y)点依次连接为由左至右的折线；两个方向的折线在V_x和V_y为横纵坐标的图中形成网格，网格中的每条线纵向折线都对应于一个x数值，每条横向折线都对应于一个y数值，网格节点对应于一个位置坐标(x,y)，完成位置标定图的绘制；

2)光斑定位：将激光照射在薄膜的某一位置，记录沿x方向的电压信号和沿y方向的电压信号，将两个方向的电压信号与位置标定图对照，电压信号在位置标定图中的哪个网格节点附近，则说明激光光斑的位置坐标为该节点对应的位置坐标，从而实现激光定位；

3)轨迹跟踪：激光在扫描过程中，将光斑在薄膜表面移动的轨迹看作一系列连续变化的位置点，记录一系列连续变化的沿x方向的电压信号和沿y方向的电压信号，与位置标定图对照，按照步骤2)的光斑定位方法，即复原出激光的扫描轨迹。