[发明专利]氨储存罐容器及利用此的气态氨供应方法

说明书

本发明涉及氨储存罐容器及利用此的气态氨供应方法。本发明公开了一种氨储存罐容器，包括：储存罐部，储存液态氨；支撑架部，设置在储存罐部外部面，以支撑储存罐部；热介质通道部，设置在储存罐部的外周面，并且形成用于流动热介质的通道，热介质用于气化储存于储存罐部内部的液态氨；热介质储槽部，储存向热介质通道部供应的热介质；加热部，用于提高储存于热介质储槽部的热介质的温度；循环泵部，用于在热介质通道部和热介质储槽部之间循环热介质；气态氨供应线，结合于储存罐部，以从储存罐部内向外部设备供应气化的气态氨；控制部，控制加热部及循环泵部的动作，以提前设定的压力条件及温度条件通过气态氨供应线供应气态氨。

技术领域

本发明涉及氨储存罐容器及利用此的气态氨供应方法，更详细地说涉及利用储存罐容器搬运液态氨并且能够以气体状态供应的氨储存罐容器及利用此的气态氨供应方法。

背景技术

通常，氨正在广泛使用于热处理工艺或者冷冻仓库的制冷剂或者发电厂及焚烧厂等的中和，最近作为半导体或者LED工艺的特殊气体，其需求正在急剧增加。

在半导体或者LED制造工艺中使用的氨的情况，要求高纯度，因此生成氨气，并且将生成的氨气供应到设备需要多加注意。

现有的用于供应氨气的设备主要有使用y-cylinder(Y瓶)的方式。

但是，利用y-cylinder的氨气供应设备作为简单的结构，具有可供应高纯度的氨气的优点，但是近来半导体或者LED制造工厂的情况是趋于大规模化，因此用这种气体供应设备存在无法供应充分量的氨气的问题。

发明内容

(要解决的问题)

本发明的目的在于，为了解决如上所述的问题，提供一种利用储存罐容器搬运充分量的液态氨并且能够以气体状态供应的氨储存罐容器及利用此的气态氨供应方法。

(解决问题的手段)

本发明是为了达到如上所述的本发明的目的而提出的，公开了一种氨储存罐容器10，包括：储存罐部100，储存液态氨；支撑架部200，设置在所述储存罐部100外部面，以支撑所述储存罐部100；热介质通道部300，设置在所述储存罐部100的外周面，并且形成用于流动热介质的通道，所述热介质用于气化储存于所述储存罐部100内部的液态氨；热介质储槽部400，储存向所述热介质通道部300供应的热介质；加热部800，用于提高储存于所述热介质储槽部400的热介质的温度；循环泵部500，用于在所述热介质通道部300和所述热介质储槽部400之间循环热介质；气态氨供应线600，结合于所述储存罐部100，以从所述储存罐部100内向外部设备供应气化的气态氨；控制部，控制所述加热部800及所述循环泵部500的运转，以提前设定的压力条件及温度条件通过所述气态氨供应线600供应气态氨。

所述氨储存罐容器10还可包括温度感应部710，所述温度感应部710设置在所述储存罐部100，感应气态氨及液态氨的温度。

所述氨储存罐容器10还可包括压力感应部720，所述压力感应部720感应所述储存罐部100内部的压力。

所述氨储存罐容器10还可包括液位感应部730，所述液位感应部730感应储存于所述储存罐部100内部的液态氨的液位。

所述储存罐部100可形成圆柱形状，在以水平方向横躺的状态下被所述支撑架部200支撑。

所述热介质通道部300可与所述储存罐部100的下部区域相对应设置。

所述热介质通道部300可包括：热介质入口部310，设置在所述储存罐部100的最下部，流进热介质，分支成一对入口312；一对传热管部320，从所述一对入口312以对称形状沿着储存罐部100的外周面两侧延伸；热介质出口部330，设置在所述一对传热管部320的末端排出热介质。