[发明专利]一种屏幕的高温下气相反应用高压清洗装置

说明书

本发明涉及一种屏幕的高温下气相反应用高压清洗装置，包括机架，机架的中间设置供扩散漫射板立置的容置部，容置部的两侧设置清洗单元，所述的清洗单元包括与立置的扩散漫射板平行布置的钢架，钢架上设置传动机构，所述的传动机构包括平行立置的扩散漫射板设置的立杆和位于立杆之间的水平导杆，所述的水平导杆沿立杆的设置方向上下可移，水平导杆上设置滑块，所述的滑块沿水平导杆的杆长方向来回可移，滑块上设置喷头组件，所述的喷头组件包括向滑块外侧伸展的多个喷头，该多个喷头喷射端垂直所述的钢架，喷头的进水端连接供水主机。对扩散漫射板正反两面可同时自动高压清洗，成本较低，清洗高效且占地空间小适用于CVD工艺中的扩散漫射板产品。

技术领域

本发明涉及显示屏加工领域，具体涉及一种屏幕的高温下气相反应用高压清洗装置。

背景技术

LCD(液晶显示)、OLED(有机发光显示)屏幕领域的CVD(Chemical VaporDeposition的简称，即高温下的气相反应)工艺中,需向工件内部注入所需的气体，在这个工艺中须要使用表面打孔的扩散漫射板，而扩散漫射板通常长、宽都超过3m，规格较大，其约有16万个穿透扩散漫射板正、反表面的孔,而这些孔内因为工艺产生的异物最少要用100Bar以上的高压水清洗。现有的高压水清洗主要才采用下面两种方案：

1)手工清洗，这种清洗由于清洗水需要高压，而操作人员手持高压软管支撑力有限，水压稍微较高，操作人员就支持不了，所以操作人员能够手持支撑的状态，相对来说水压给的较低,这样操作人员就须反复清洗，但由于水压较小，清洗力度不够，很难达到清洗干净的要求。且清洗孔时,由于孔型的因素，清洗液须要垂直扩散漫射板水平直线冲洗,为此操作人员须要对扩散漫射板所有的孔水平喷射清洗液,这样手工清洗准确度低,清洗效率低。

2)大型多关节机器人清洗,这种方案是通过采购的车间大型多关节机器人连接软管高压水清洗,虽然可根据大型多关节机器人设定坐标高压清洗,但是其一、成本很高,其二、大型多关节机器人的底座固定，一台大型多关节机器人无法同时进行两面清洗，这样通常还需行车对扩散漫射板翻面，或者用两台大型多关节机器人位于扩散漫射板正反两面同时清洗,前者清洗时间很长，后者设备成本还须上升。

发明内容

本发明目的是提供一种屏幕的高温下气相反应用高压清洗装置，成本较低，清洗高效、清洗时间短,且占地空间小,对扩散漫射板正反两面可同时自动高压清洗，不仅适用于CVD工艺中的扩散漫射板，也适用于有大量细微小孔的大面积产品。

为了实现以上目的，本发明采用的技术方案为：一种屏幕的高温下气相反应用高压清洗装置，包括机架，机架的中间设置供扩散漫射板立置的容置部，容置部的两侧设置清洗单元，所述的清洗单元包括与立置的扩散漫射板平行布置的钢架，钢架上设置传动机构，所述的传动机构包括平行立置的扩散漫射板设置的立杆和位于立杆之间的水平导杆，所述的水平导杆沿立杆的设置方向上下可移，水平导杆上设置滑块，所述的滑块沿水平导杆的杆长方向来回可移，滑块上设置喷头组件，所述的喷头组件包括向滑块外侧伸展的多个喷头，该多个喷头喷射端垂直所述的钢架，喷头的进水端连接供水主机。

进一步的，所述的喷头组件包括与滑块连接的接头座，接头座上设置旋转块，旋转块旁侧设置感应块，所述的旋转块的转轴垂直钢架布置，旋转块上设置气刀，气刀通过固定板固定于旋转块上，旋转块的正面固定有旋转杆，所述的旋转杆具有偏角，旋转杆的内端通进水接头，所述的喷头喷射端设置于旋转杆的外端，旋转块的背面设置驱动马达，驱动马达的驱动齿轮的下方设置编码器，所述的驱动马达驱动气刀气动，所述的进水接头联通供水主机。

再进一步的，所述的供水主机为250Bar高压水主机，所述的250Bar高压水主机采用ABB变频驱动变频电机驱动输水。

进一步的，所述的传动机构包括驱动水平导杆沿立杆的设置方向上下可移的第一丝杠机构和驱动滑块沿水平导杆的杆长方向来回可移的第二丝杠机构。