[发明专利]衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置

权利要求书

1.一种衬底处理装置，对衬底进行处理，且包含以下要素：

第1装载块，设有用于载置能够收纳多个衬底的载具的至少1个第1载具载置台；

第1处理块，在水平方向上与所述第1装载块连结；

多个载具保管架，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，分别保管所述载具；及

载具搬送机构，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。

2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中

所述第1处理块包含配置成1列的多个处理块，

所述第1装载块在水平方向上与所述多个处理块中的一端的处理块连结，

所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块及所述多个处理块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，

所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块及所述多个处理块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。

3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其还具备第2装载块，

该第2装载块在水平方向上与所述多个处理块中的另一端的处理块连结，且设有用于载置所述载具的至少1个第2载具载置台，

所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，

所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台、所述多个载具保管架及所述至少1个第2载具载置台之间搬送所述载具。

4.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其还具备第2装载块，

该第2装载块配置在所述多个处理块中的一端侧的处理块与另一端侧的处理块之间，且设有用于载置所述载具的至少1个第2载具载置台，

所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，

所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台、所述多个载具保管架及所述至少1个第2载具载置台之间搬送所述载具。

5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其还具备第2载具搬送机构，

该第2载具搬送机构隔着所述第2装载块搭载在所述载具搬送机构即第1载具搬送机构的相反侧且所述另一端侧的处理块之上，搬送所述载具。

6.根据权利要求5所述的衬底处理装置，其

还具备配置在所述第2装载块之上的中继用载具载置台，

所述第1载具搬送机构使用所述中继用载具载置台将所述载具搬送到所述第2载具搬送机构，另外，

所述第2载具搬送机构使用所述中继用载具载置台将所述载具搬送到所述第1载具搬送机构。

7.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中

所述载具搬送机构具备：固持部，固持所述载具；臂部，安装着所述固持部；驱动部，支撑所述臂部；及导轨，搭载在所述多个处理块中的至少2个处理块及所述第2装载块之上；

所述驱动部构成为能够使所述固持部及所述臂部沿着所述导轨移动，

所述导轨搭载在形成于所述第2装载块的槽部上。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的衬底处理装置，其中

所述载具搬送机构具备：固持部，固持所述载具；臂部，安装着所述固持部；驱动部，支撑所述臂部；及导轨，搭载在所述多个处理块中的至少2个处理块之上；

所述驱动部构成为能够使所述固持部及所述臂部沿着所述导轨移动。