[发明专利]线圈组件及半导体设备

权利要求书

1.一种线圈组件，其特征在于，包括：多组感应线圈，所述多组感应线圈之间并联连接，且所述多组感应线圈呈放射状分布；每组所述感应线圈包括多个线圈单元，所述多个线圈单元依次串联，所述线圈单元呈圆弧形。

2.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，

每组所述感应线圈的一端均连接射频源，另一端均接地；

每组所述感应线圈均呈直线形，所述线圈组件包括至少三组感应线圈。

3.根据权利要求2所述的线圈组件，其特征在于，所述多组感应线圈中每相邻两组所述感应线圈之间的夹角相等。

4.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，所述感应线圈的长度小于为所述线圈组件供电的射频电源对应波长的1/10。

5.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，所述线圈单元的圆心角为60度至180度，所述线圈单元所在圆的半径为10mm至100mm。

6.根据权利要求5所述的线圈组件，其特征在于，所述线圈单元的线材截面为圆形，且所述圆形的直径大于5mm；或者，所述线圈单元的线材截面为矩形，且所述矩形的宽度大于5mm。

7.根据权利要求2所述的线圈组件，其特征在于，每组所述感应线圈的另一端均通过铜带接地。

8.一种半导体设备，其特征在于，包括根据权利要求1至7中任一项所述的线圈组件。

9.根据权利要求8所述的半导体设备，其特征在于，还包括反应腔室，所述反应腔室的顶部设有平面介质窗，所述平面介质窗上方设有线圈屏蔽盒，所述反应腔室的外部设有射频电源和第一匹配器；

所述线圈组件设置于所述线圈屏蔽盒内并与所述平面介质窗平行；

所述射频电源、所述第一匹配器、所述线圈组件依次电连接。