[发明专利]利用二氧化碳制备高硬减摩耐蚀TiCxOy涂层的方法有效
| 申请号： | 201911352102.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111118463B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 张斌;王兆龙;张俊彦;贾倩;牟志星;强力;高凯雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 曹向东 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 二氧化碳 制备 高硬减摩耐蚀 ticxoy 涂层 方法 | ||
【权利要求书】：
1.利用二氧化碳制备高硬减摩耐蚀TiCxOy涂层的方法，其特征在于：将抛光好的基材经超声清洗、N2干燥后，得到干燥的样品；所述干燥的样品转移至真空腔中，抽真空至9.8× 10-4 Pa后，先采用脉冲负偏压进行Ar气体离子轰击，再在氩气和二氧化碳气体混合气氛下，以Ti靶进行直流脉冲磁控溅射沉积，即得TiCxOy涂层；所述基材是指单晶硅（100）、不锈钢、轴承钢、齿轮钢中的一种；所述离子轰击的条件是指腔内气压为5.0Pa，脉冲负偏压强度为-1000V，占空比为60%，频率为60KHz，轰击时间为30min；所述氩气和二氧化碳气体混合气氛是指氩气体积流量为50 sccm，CO2体积流量为10 sccm；所述直流脉冲磁控溅射沉积的条件是指气压为1.0Pa，脉冲偏压为-100V，占空比为60%；靶电流为0.65A~1.25A，脉冲占空比60%，沉积时间为60min；在10N载荷、10Hz频率的条件下往复摩擦测试，摩擦系数低于0.10，最低至0.06。
2.如权利要求1所述的利用二氧化碳制备高硬减摩耐蚀TiCxOy涂层的方法，其特征在于：所述超声清洗是指依次用丙酮、无水乙醇、蒸馏水经超声波清洗5~15min。
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