[发明专利]薄膜晶体管的图案制作方法、薄膜晶体管以及光罩

说明书

薄膜晶体管的图案制作方法、薄膜晶体管以及光罩。本申请公开一种TFT的图案制作方法以及光罩，用于使光通过位于TFT上方的光罩上设置的与TFT位置对应的孔，在TFT上产生两种及以上光阻叠加，抵消半导体AS层上的反射光，保证TFT正常工作。本申请实施例方法包括：TFT接收喷涂装置涂布第一光阻；TFT通过第一类型的光罩接收第一次曝光；TFT进行第一次显影形成第一图案；TFT接收喷涂装置在第一图案上涂布第二光阻；TFT通过第二类型的光罩接收第二次曝光；TFT进行第二次显影形成第二图案；TFT接收喷涂装置在第二图案上涂布第三光阻；TFT通过第三类型的光罩接收第三次曝光；TFT进行第三次显影形成目标图案，其中在三种类型的其中两个类型中，在两列像素的遮光层上，至少有一列像素的遮光层上开设有孔。

技术领域

本申请涉及液晶显示技术领域，具体涉及一种薄膜晶体管的图案的制作方法、薄膜晶体管以及光罩。

背景技术

光罩由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已制作好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光罩。光罩的生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。而其中，薄膜晶体管(Thin film transistor,TFT)为薄膜晶体管液晶显示器(Thin film transistor liquid crystal display,TFT-LCD)的阵列基板上的TFT区域。TFT-LCD的面板可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶，上层的玻璃基板是彩色滤光片，而下层的玻璃则有晶体管镶嵌在玻璃上。上层玻璃因与彩色滤光片贴合，形成每个像素各包含红蓝绿三颜色的子像素，这些发出红蓝绿色彩的像素便构成了面板上的视频画面。

目前已知的TFT的图案制作方法中，在TFT上方覆盖有光罩，该光罩通常由覆盖在至少两组像素色块上的子光罩组成，每组像素色块由红(R)、绿(G)、蓝(B)色各一列子像素组合而成，并且，光罩由3N个相邻的不同时点接收曝光装置曝光时对应的三种类型构成，其中，N≥1，该方法包括如下步骤：

S1：TFT接收喷涂装置涂布第一光阻；

S2：TFT通过第一类型的光罩接收曝光装置的第一次曝光，该第一类型为在像素色块中，第一列子像素上方无遮光层，第二列子像素和第三列子像素上方均有遮光层；

S3：TFT进行第一次显影，形成第一图案；

S4：TFT接收喷涂装置在第一图案上涂布第二光阻；

S5：TFT通过第二类型的光罩接收曝光装置的第二次曝光，该第二类型为第二列子像素上方无遮光层，第一列子像素和第二列子像素上方均有遮光层；

S6：TFT进行第二次显影，形成第二图案；

S7：TFT接收喷涂装置在第二图案上涂布第三光阻；

S8：TFT通过第三类型的光罩接收曝光装置的第三次曝光，该第三类型为第三列子像素上方无遮光层，第一列子像素和第二列子像素上方均有遮光层；

S9：TFT进行第三次显影，形成目标图案。