[发明专利]一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法

权利要求书

1.一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：装夹圆孔薄膜，用两片薄膜装夹薄片夹住圆孔薄膜，圆孔薄膜的通孔透过薄膜装夹薄片中心的圆孔放置，薄膜装夹薄片对角线两端分别设有定位孔，薄膜装夹薄片通过所述定位孔平行安装于工作台上，随工作台移动；

步骤二：用设置在圆孔薄膜上方的上传感器扫描圆孔薄膜的上表面，用设置在圆孔薄膜下方的下传感器扫描圆孔薄膜的下表面，根据上下传感器获取的Z轴位置信息和从工作台获取的X轴、Y轴位置信息，拟合圆孔薄膜上下表面通孔，其中，上下传感器均为光谱共焦位移传感器；

步骤三：根据拟合表面通孔图像中留下的月牙形残影，计算得到传感器的偏转角度；再借助外部传感器角度调整机构调整上下传感器垂直于工作面；

步骤四：再次用上传感器扫描圆孔薄膜上表面，用下传感器扫描圆孔薄膜下表面，根据上下传感器获取的Z轴位置信息和工作台获取的X轴、Y轴位置来拟合圆孔薄膜上下表面圆孔圆心，获得上下表面拟合圆心的位置；

步骤五：根据拟合圆心的位置，计算出传感器X轴方向上的偏移量和Y方向上的偏移量，调整上下传感器共轴对准；

步骤六：利用透明圆孔薄膜的透明性，使得上下传感器同时测量圆孔薄膜同一表面同一点，然后通过折射率补偿上传感器的示值，完成上下传感器的位姿标定。