[发明专利]片状电子部件的检查方法以及检查装置

说明书

公开了片状电子部件的检查方法和检查装置。提供了使用两台以上的检查器以高速且高精度来检查大量片状电子部件的电特性的方法。片状电子部件的检查方法对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查，包括：在把分别根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式制造的两个以上的检查对象的片状电子部件相互接近地配置的状态下将该片状电子部件的每个与相互独立的检查器电连接；以及从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，所述片状电子部件的检查方法的特征在于，在相互不重复的时段进行从各检查器向各片状电子部件的检查用电压的施加。

本申请是2014年12月22日进入中国国家阶段的、申请号为201380032830.6的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及以高速对大量片状电子部件进行检查的方法以及装置。

背景技术

随着由便携式电话、液晶电视机、游戏机所代表的电产品的生产量的增加，装入到这样的电产品的片状电子部件的生产量正在显著增加。作为片状电子部件，广为所知有片状电容器(还称为片状电容件)、片状电阻器(包括变阻器)以及片状电感器。

片状电子部件例如片状电容器具有极小的尺寸，在一次制造批次中制作出几万~几十万个的这样大量的片状电容器。

为了降低装入有片状电子部件的电产品的起因于片状电子部件的缺陷的次品率，关于被大量制造的片状电子部件，一般的是对全部进行检查。例如，关于片状电容器，对其全部进行静电电容等电特性的检查。

以往，作为用于高速地检查大量片状电子部件的电特性的方法，利用对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查的检查方法，该检查方法包括以下工序：在把根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式分别制造的两个以上的检查对象的片状电子部件配置成相互接近的状态下，把该片状电子部件的每个与相互独立的检查器电连接；以及从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值。例如，一般把具备形成有很多透孔的圆盘(片状电子部件保持板)的片状电子部件检查装置用于该检查方法的实施。在圆盘设置有分别收容检查对象的片状电子部件的很多透孔。圆盘的邻接的透孔形成于相互接近的位置。使该圆盘旋转并使片状电子部件收容于每个透孔，在该状态下，将在圆盘的径向方向上排列的多个片状电子部件作为一组，利用检查器检查片状电子部件的电特性。

片状电子部件的检查装置一般由如下构成：上述圆盘(片状电子部件保持板)；一对电极端子，被配置于与该圆盘的各透孔的两开口部接近的位置；检查器，与一对电极端子的每个电连接；以及控制器，以对各检查器供给与电能量和检查处理有关的信号的方式与各检查器电连接。而且，从上述检查器经由电极端子对收容于两个以上的透孔的片状电子部件的每个施加检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，由此对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查。

例如，在作为上述各检查器使用片状电容器的静电电容的检查器的情况下，从各检查器对每个片状电容器(片状电子部件)施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，利用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电容器中发生的电流的电流值，由此根据上述检查用电压的电压值和检测出的电流的电流值对检查对象的各片状电容器的静电电容(电特性)进行检查。此外，从各检查器对片状电子部件施加的电压的频率在最初被设为相互相同。然而，当从接近配置的多个检查器将相同频率的电压施加到片状电子部件时，在从各检查器对每个片状电子部件施加的电压的频率之间产生干扰，其结果，发现检查结果容易发生不符。因而，近年来，还进行了使从各检查器施加到片状电子部件的电压的频率稍微偏差(不设为相同而设为大致相同)。作为片状电容器的静电电容的检查器，例如能够使用市场上销售的静电电容测定器(代表例子为电容计：E4981A，AgilentTechnologies(アジレントテクノロジー)(株)制)。