[发明专利]一种用于深紫外窄带宽氙灯光源模块在审
| 申请号： | 201911355791.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111022958A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 贺鹏;李学雷;吴警政;孟聪禄;张宇烨 | 申请（专利权）人： | 武汉优光科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F21S2/00 | 分类号： | F21S2/00;F21V5/04;F21V19/02;F21V14/06;F21V7/22;F21V7/28;F21V14/04;F21V9/40 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 徐瑛 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新二*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 深紫 窄带 氙灯 光源 模块 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，包括光源模块、镜头组件和截止组件，所述光源模块用于提供光源，所述镜头组件用于汇聚和发散光源的光斑形状，所述截止组件用于选择出窄带宽的深紫外光。
2.根据权利要求1所述的用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，所述镜头组件包括至少一个透镜。
3.根据权利要求2所述的用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，所述镜头组件的出射光路上设置有光阑。
4.根据权利要求1所述的用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，所述镜头组件与光源模块之间的距离可调。
5.根据权利要求1所述的用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，所述截止组件包括多个反射镜，所述反射镜的角度、位置和方向均可调。
6.根据权利要求5所述的用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，所述截止组件的出射光路上设置有光阑。
7.根据权利要求5所述的用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，所述反射镜的反射面镀制所需波段的高反膜和需滤掉波段的增透膜。
8.根据权利要求1所述的用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，所述截止组件具有封装外壳，所述封装外壳的内表面施加有涂层，所述涂层用于消除杂散光的反光。
9.根据权利要求8所述的用于深紫外窄带宽氙灯光源模块，其特征在于，所述封装壳体内设有挡板，用于消除漏光。
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