[发明专利]一种石英晶片外圆研磨加工系统

权利要求书

1.一种石英晶片外圆研磨加工系统，包括金刚石砂轮(1)、顶尖机构(2)、托盘机构(3)和机械手(4)，其特征在于，所述顶尖机构(2)沿竖直方向夹紧石英晶片，且所述顶尖机构(2)可带动石英晶片沿水平面顺时针旋转；所述金刚石砂轮(1)设置在所述顶尖机构(2)的一侧，且所述金刚石砂轮(1)通过第一运动驱动机构(5)沿水平面逆时针旋转并实现自动进刀、退刀、上移位和下移位；所述托盘机构(3)设置在所述顶尖机构(2)的另一侧，所述机械手(4)通过第二运动驱动机构(6)在所述顶尖机构(2)和所述托盘机构(3)之间实现横向动作和纵向动作；

所述顶尖机构(2)通过真空吸附机构(7)固定石英晶片；所述真空吸附机构(7)包括吸附加工台(7-1)，所述吸附加工台(7-1)上固定连接有硅胶吸附层(7-1-1)；所述硅胶吸附层(7-1-1)为中空腔体；所述硅胶吸附层(7-1-1)的腔体上壁呈向上凸起的弧形，所述硅胶吸附层(7-1-1)的腔体下壁呈水平状；所述硅胶吸附层(7-1-1)的中空腔体内设置有中部开孔的硬质隔层(7-1-2)；所述硅胶吸附层(7-1-1)的腔体上壁环设有若干吸附孔；所述硅胶吸附层(7-1-1)的腔体下壁连通有抽气管(7-1-3)，所述抽气管(7-1-3)与气泵连接；所述顶尖机构(2)通过气动锁紧机构(8)锁紧石英晶片；所述气动锁紧机构(8)包括锁紧块(8-1)和锁紧气缸(8-2)；所述锁紧气缸(8-2)的活塞杆与所述锁紧块(8-1)螺纹连接；

所述第二运动驱动机构(6)包括横向滑轨(6-1)、纵向滑轨(6-2)、连杆(6-3)、调整杆(6-4)、夹紧气缸(6-5)和夹紧块(6-6)；两个所述横向滑轨(6-1)分别设置在所述托盘机构(3)的两侧；两个所述纵向滑轨(6-2)分别垂直地滑动连接在两个所述横向滑轨(6-1)上；所述连杆(6-3)滑动连接在两个所述纵向滑轨(6-2)之间；所述调整杆(6-4)滑动连接在所述连杆(6-3)上；两个所述夹紧气缸(6-5)分别连接在所述调整杆(6-4)上，其中一个所述夹紧气缸(6-5)固定连接在所述调整杆(6-4)上，另一个所述夹紧气缸(6-5)滑动连接在所述调整杆(6-4)上；两个所述夹紧块(6-6)分别安装在两个所述夹紧气缸(6-5)上，两个所述夹紧块(6-6)相对的平面上向内凹设有弧形槽(6-6-1)，所述弧形槽(6-6-1)内帖设有硅胶层(6-6-2)。

2.如权利要求1所述的石英晶片外圆研磨加工系统，其特征在于，所述第一运动驱动机构(5)包括电机(5-1)、纵向电动推杆(5-2)导轨(5-3)和横向电动推杆(5-4)；

所述电机(5-1)的输出轴与所述金刚石砂轮(1)连接，所述电机(5-1)连接在所述纵向电动推杆(5-2)的下方，所述纵向电动推杆(5-2)通过滑块(5-5)滑动连接在所述导轨(5-3)上，所述纵向电动推杆(5-2)的一侧连接有所述横向电动推杆(5-4)。