[发明专利]一种透射电子显微镜双倾样品杆

权利要求书

1.一种透射电子显微镜双倾样品杆，其特征在于，该透射电子显微镜双倾样品杆包括样品台、样品杆外壳、样品杆内芯和手柄，进一步包括样品台(1)、样品杆外壳(2)、内芯(3)、手柄(4)、可旋转坩埚(5)、可拆卸式压片(6)、微调齿轮(7)、传动齿条(8)、气阀开关(9)、真空密封圈(10)、定位销(11)、紧固槽(12)、拆卸槽(13)、直线伺服电机(14)以及挠性联轴器(15)；

透射电子显微镜双倾样品杆的倾转方式采用绕轴向翻转即α倾转和绕电子束入射方向旋转即θ旋转相结合的方式；其中：

所述的样品台(1)的前端设有一个透射孔，用于通过电子束，透射孔的孔径中配合有可绕透射孔转动的可旋转坩埚(5)；可旋转坩埚(5)及微调齿轮(7)为一体式结构，二者通过衬套连接，既保证可旋转坩埚(5)及微调齿轮(7)处于同一运动状态又实现其绕Z轴的旋转；可旋转坩埚(5)顶部与垫片固定连接，用于可旋转坩埚(5)垂直于样品台(1)方向的定位；垫片外圈设有三个矩形紧固槽(12)，其实现与可拆卸式压片(6)上的三个爪相配合；垫片内圈开有一个用于拆卸可拆卸式压片(6)的方形拆卸槽(13)；样品台(1)与样品杆外壳(2)为一体结构；

所述的样品杆外壳(2)与透射电镜测角台相配合，外壳2分为大径部分和小径部分，其小径部分设有一用于打开电镜气阀的气阀开关(9)，大径部分前端设有用于装真空密封圈(10)的凹槽，真空密封圈(10)实现与电镜测角台的配合；大径部分后端与手柄(4)固定连接；大径部分内部前后两端还分别设有用于内芯(3)径向定位的环形槽；

所述的内芯(3)是一根连接样品台(1)和手柄(4)内直线伺服电机(14)的传动轴，其前端固定连接着与微调齿轮(7)相配合的传动齿条(8)传动齿条(8)随内芯(3)的轴向移动一同运动；内芯(3)的径向定位分别通过位于样品杆外壳(2)大径部分前段和后端内部的定位槽；内芯(3)的后端通过挠性联轴器(15)与手柄(4)内部的直线伺服电机(14)连接；

所述的手柄(4)内部含有驱动内芯(3)运动的传动机构，主要由可实现直线运动的直线伺服电机(14)和挠性联轴器(15)组成，直线伺服电机(14)固定于手柄(4)内的支撑架上；挠性联轴器(15)将电机主轴与内芯(3)连接起来实现直线伺服电机(14)对内芯(3)的控制；手柄(4)前端固定有样品杆外壳(2)和定位销(11)。