[发明专利]X射线平板探测器及制备方法有效

专利信息
申请号: 201911357250.X 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111081728B 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 甘新式;程丙勋;钟良兆;杨炯灿 申请(专利权)人: 上海奕瑞光电子科技股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;G01T1/20
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 余明伟
地址: 201201 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 射线 平板 探测器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种X射线平板探测器,其特征在于,所述X射线平板探测器包括TFT基底、CsI:Tl闪烁体层,以及:

光选择层,所述光选择层包括第一表面及相对的第二表面,所述CsI:Tl闪烁体层与所述第一表面相接触,所述TFT基底与所述第二表面相接触;所述光选择层包括PVC膜、PET膜及PE膜中的一种或组合;通过所述光选择层对由所述CsI:Tl闪烁体层所产生的短波长荧光包括蓝光、紫光及近紫外光中的至少一种进行包括吸收及反射中的一种或组合,以进行选择,减小所述TFT基底的余辉。

2.根据权利要求1所述的X射线平板探测器,其特征在于:所述光选择层的厚度为微米量级,包括5μm~20μm。

3.根据权利要求1所述的X射线平板探测器,其特征在于:所述X射线平板探测器还包括位于所述CsI:Tl闪烁体层上方的封装层,所述封装层包括铝膜。

4.根据权利要求1所述的X射线平板探测器,其特征在于:所述TFT基底包括硅基TFT、玻璃基TFT及柔性基TFT中的一种。

5.一种X射线平板探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供TFT基底;

形成光选择层,所述光选择层包括与所述TFT基底的上表面相接触的第二表面及与所述第二表面相对的第一表面;所述光选择层包括PVC膜、PET膜及PE膜中的一种或组合;

形成CsI:Tl闪烁体层,所述CsI:Tl闪烁体层与所述第一表面相接触;通过所述光选择层对由所述CsI:Tl闪烁体层所产生的短波长荧光包括蓝光、紫光及近紫外光中的至少一种进行包括吸收及反射中的一种或组合,以进行选择,减小所述TFT基底的余辉。

6.根据权利要求5所述的X射线平板探测器的制备方法,其特征在于:制备所述光选择层的方法包括贴膜法、旋涂法及模塑法中的一种或组合。

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