[发明专利]基于温度控制的标准气体发生系统

权利要求书

1.一种基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，包括：

平衡气气瓶，用于盛装平衡气；

恒温腔体，所述恒温腔体具有进气口和排气口，所述恒温腔体内限定有恒温腔，所述恒温腔体通过所述进气口与所述平衡气气瓶相连通，以用于将所述平衡气导入所述恒温腔内；

温度控制组件，与所述恒温腔体连接，所述温度控制组件用于调节所述恒温腔内的温度并维持所述恒温腔内的温度恒定；

渗透管，设在所述恒温腔内，所述渗透管用于盛装标准液，所述标准液在所述恒温腔内的温度作用下，挥发形成标准气，并扩散出所述渗透管，以在所述平衡气的作用下导出所述恒温腔体；

气体测试箱，与所述排气口相连通，以接收由所述恒温腔体导出的所述标准气。

2.根据权利要求1所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，所述恒温腔体的截面为方形，所述恒温腔体包括：

腔体本体，所述腔体本体内限定有所述恒温腔，所述腔体本体的上部敞开，所述腔体本体的相对两侧设有与所述恒温腔连通的所述进气口和所述排气口；

隔热件，设在所述腔体本体的外壁面上；

密封盖，设在所述腔体本体的上部，以密封所述恒温腔。

3.根据权利要求1所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，所述进气口和所述排气口分别为螺纹接口，所述进气口通过管道与所述平衡气气瓶连通，所述排气口通过所述管道与所述气体测试箱连通。

4.根据权利要求3所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，所述进气口与所述平衡气气瓶之间的所述管道设有第一质量流量计。

5.根据权利要求2所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，所述隔热件为保温隔热棉。

6.根据权利要求2所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，所述恒温腔体为恒温金属腔体。

7.根据权利要求2所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，温度控制组件包括：

温度控制器；

温度检测探头，与所述温度控制器连接，所述温度检测探头用于探测所述恒温腔内的温度，并生产相应的温度信号，所述温度控制器接收所述温度信号，并根据所述温度信号发出相应温度调节指令；

加热件，设在所述恒温腔体上，所述加热件与所述温度控制器连接，以接收所述温度控制器发出的所述温度调节指令控制所述加热件加热或制冷；

散热片，设在所述加热件上，以对所述加热件散热；

风扇，与所述温度控制器连接，且所述风扇与所述散热片相对设置。

8.根据权利要求7所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，所述加热件为半导体制冷片、陶瓷加热片或线圈加热件中的一种。

9.根据权利要求1所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，所述渗透管包括：

管体部，其内限定有用于盛装所述标准液的容纳腔；

毛细管，套设在所述管体部上，所述标准液挥发形成的所述标准气通过所述毛细管扩散出所述渗透管。

10.根据权利要求3所述的基于温度控制的标准气体发生系统，其特征在于，所述标准气体发生系统还包括：

清洗瓶，所述清洗瓶用于盛装氮气；

清洗箱，所述清洗箱和所述气体测试箱通过所述管道与所述清洗瓶连通，所述排气口通过所述管道与所述清洗箱连通，所述清洗瓶与所述清洗箱之间的所述管道上设有第二质量流量计。