[发明专利]一种低成本欧姆接触电极的制备方法及太阳电池

权利要求书

1.一种低成本欧姆接触电极的制备方法，其特征在于，包括：

提供一基底；

在所述基底上设置一层带有电极图案的蓝膜；

在所述蓝膜上表面旋涂银浆后，撕下所述蓝膜形成银浆电极，其中，所述银浆旋涂后同时覆盖所述蓝膜和所述基底；

对银浆电极快速热退火处理，形成欧姆接触电极。

2.根据权利要求1所述的低成本欧姆接触电极的制备方法，其特征在于，所述基底为掺杂浓度是10¹⁸cm^-3的N型GaAs片层。

3.根据权利要求2所述的低成本欧姆接触电极的制备方法，其特征在于，在所述基底上设置一层带有电极图案的蓝膜的步骤前，还包括步骤：对所述基底进行表面洁净处理；

所述洁净处理的步骤包括：

使用丙酮溶液浸泡所述基底，接着使用异丙醇浸泡后进行水洗，再用氮气气枪吹干；最后对所述基底进行等离子去胶机处理。

4.根据权利要求3所述的低成本欧姆接触电极的制备方法，其特征在于，在所述基底上设置一层带有电极图案的蓝膜的步骤前、所述洁净处理的步骤后，还包括步骤：对所述基底利用无机溶液酸洗；

对所述基底利用无机溶液酸洗的步骤包括：

采用HCl溶液浸泡所述基底，使GaAs表面的部分氧化物被洗除而打开表面悬挂键。

5.根据权利要求1所述的低成本欧姆接触电极的制备方法，其特征在于，在所述蓝膜上表面旋涂银浆前，还包括：使用稀释剂松油醇稀释以调节粘稠度。

6.根据权利要求1～5任一所述的低成本欧姆接触电极的制备方法，其特征在于，所述快速热退火处理步骤中，退火气氛为氮气气氛，退火温度为300℃～500℃，退火时间为200s～300s。

7.根据权利要求6所述的低成本欧姆接触电极的制备方法，其特征在于，旋涂银浆的转速是4000rad/min，在撕下所述蓝膜前，还包括：使用60℃低温加热银浆。

8.根据权利要求7所述的低成本欧姆接触电极的制备方法，其特征在于，在撕下所述蓝膜后、对银浆电极快速热退火处理前，还包括：在鼓风干燥箱内以180℃的高温固化所述基底上的银浆30min。

9.一种太阳电池，其特征在于，包括根据权利要求1～8任一所述的低成本欧姆接触电极的制备方法制作的欧姆接触电极。