[发明专利]一种修饰氧化锡的传感器及其制备方法和在氮氧化物气敏检测中的应用

权利要求书

1.一种修饰SnO₂的RGOH传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、3D SnO₂/RGOH的制备：将石墨烯分散在去离子水中得到石墨烯水溶液，取1 mg/mL石墨烯水溶液并向其中添加SnCl₂•2H₂O，其中石墨烯和SnCl₂•2H₂O的质量比为1：9，将混合物超声处理10分钟，密封在高压釜中，在180 ℃条件下加热10~12小时得到3D SnO₂/RGOH；

S2、化学电阻器的制备：在基板上旋涂光刻胶后进行光刻、溅射Ti /Au层和剥离工艺，得到叉指电极，其中Ti层厚度为15 nm，Au层厚度为200 nm；

S3、微型加热器的制备：在所述步骤S2使用的基板的另一面上进行光刻、溅射Ti /Pt层和剥离工艺，得到蛇形铂微线，其中Ti层厚度为15 nm，Pt层厚度为300 nm；再进行光刻、溅射Ti /Au层和剥离工艺，得到与铂微线对准的接触垫，其中Ti层厚度为5 nm，Au层厚度为300 nm；

S4、SnO₂/RGOH气体传感器的制备：所述步骤S1制得的SnO₂/RGOH用去离子水清洗后重新分散在水中并超声处理20分钟，得到SnO₂/RGOH水分散液，并通过滴铸将其沉积在所述步骤S2制得的叉指电极表面，干燥后制得SnO₂/RGOH气体传感器。

2.根据权利要求1所述的一种修饰SnO₂的传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述SnO₂/RGOH水分散液的浓度为1.0 mg/mL。

3.一种如权利要求1或2所述方法制备的修饰SnO₂的RGOH传感器在氮氧化物气敏检测中的应用。

4.根据权利要求3所述的一种修饰SnO₂的RGOH传感器在氮氧化物气敏检测中的应用，其特征在于，所述传感器可在常温下检测二氧化氮，检出限为2.8 ppb。

5.一种如权利要求1或2所述方法制备的修饰SnO₂的RGOH传感器，其特征在于，所述气体传感器包括基板、化学电阻器和微型加热器，其中所述化学电阻器和微型加热器分别位于所述基板的两侧，所述化学电阻器包括基底和电极层，其中所述基底为Si/SiO₂晶片或LCP薄膜，所述电极层修饰了3D SnO₂/RGOH结构层。